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1. WO2006052647 - DIELECTRIC SPACER FOR ENHANCED SQUEEZE-FILM DAMPING OF MOVABLE MEMBERS OF MEMS DEVICES

Publication Number WO/2006/052647
Publication Date 18.05.2006
International Application No. PCT/US2005/039777
International Filing Date 04.11.2005
IPC
G02B 26/00 2006.1
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
CPC
G02B 26/0808
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0808by means of one or more diffracting elements
Applicants
  • SILICON LIGHT MACHINES CORPORATION [US]/[US] (AllExceptUS)
  • PAYNE, Alexander, P. [US]/[US] (UsOnly)
  • LEUNG, Omar, S. [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • PAYNE, Alexander, P.
  • LEUNG, Omar, S.
Agents
  • BENEDICTO, Patrick, D.
Priority Data
11/264,95901.11.2005US
60/625,49905.11.2004US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) DIELECTRIC SPACER FOR ENHANCED SQUEEZE-FILM DAMPING OF MOVABLE MEMBERS OF MEMS DEVICES
(FR) ESPACEUR DIELECTRIQUE POUR AMORTISSEMENT PAR FILM D'HUILE RENFORCE D'ELEMENTS MOBILES DE DISPOSITIFS MEMS
Abstract
(EN) In one embodiment, a capacitive micro electro-mechanical systems (MEMS) device (500) includes a dielectric spacer (502) between a bottom electrode (503) and a movable member (501). The movable member (501) may serve as a top electrode. A gap (614) separates the top electrode from the dielectric spacer (502). The movable member (501) may be actuated to deflect towards the bottom electrode (503) by electrostatic force. The dielectric spacer (502) reduces the height of the gap that would otherwise be formed between a top surface of the bottom electrode (503) and a bottom surface of the movable member (501), thereby improving squeeze-film damping. The movable member (501) may be a ribbon of a ribbon-type diffractive spatial light modulator, for example.
(FR) La présente invention concerne, dans un mode de réalisation, un dispositif à systèmes micro-électromécaniques (MEMS) capacitifs (500) comprenant un espaceur diélectrique (502) situé entre une électrode inférieure (503) et un élément mobile (501). L'élément mobile (501) peut servir d'électrode supérieure. Un écart (614) sépare l'électrode supérieure de l'espaceur diélectrique (502). L'élément mobile (501) peut être actionné de façon qu'il dévie en direction de l'électrode inférieure (503) sous l'effet d'une force électrostatique. L'espaceur diélectrique (62) réduit la hauteur de l'écart qui serait sinon formé entre une surface supérieure de l'électrode inférieure (503) et une surface inférieure de l'élément mobile (501), ce qui améliore l'amortissement par film d'huile. L'élément mobile (501) peut par exemple être un ruban d'un modulateur spatial de lumière à diffraction de type ruban.
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