(EN) In one embodiment, a capacitive micro electro-mechanical systems (MEMS) device (500) includes a dielectric spacer (502) between a bottom electrode (503) and a movable member (501). The movable member (501) may serve as a top electrode. A gap (614) separates the top electrode from the dielectric spacer (502). The movable member (501) may be actuated to deflect towards the bottom electrode (503) by electrostatic force. The dielectric spacer (502) reduces the height of the gap that would otherwise be formed between a top surface of the bottom electrode (503) and a bottom surface of the movable member (501), thereby improving squeeze-film damping. The movable member (501) may be a ribbon of a ribbon-type diffractive spatial light modulator, for example.
(FR) La présente invention concerne, dans un mode de réalisation, un dispositif à systèmes micro-électromécaniques (MEMS) capacitifs (500) comprenant un espaceur diélectrique (502) situé entre une électrode inférieure (503) et un élément mobile (501). L'élément mobile (501) peut servir d'électrode supérieure. Un écart (614) sépare l'électrode supérieure de l'espaceur diélectrique (502). L'élément mobile (501) peut être actionné de façon qu'il dévie en direction de l'électrode inférieure (503) sous l'effet d'une force électrostatique. L'espaceur diélectrique (62) réduit la hauteur de l'écart qui serait sinon formé entre une surface supérieure de l'électrode inférieure (503) et une surface inférieure de l'élément mobile (501), ce qui améliore l'amortissement par film d'huile. L'élément mobile (501) peut par exemple être un ruban d'un modulateur spatial de lumière à diffraction de type ruban.
