(EN) The electronic device comprising a micro-electromechanical systems (MEMS) element at a first side of a substrate (14). The MEMS element comprises a first electrode (101) and a second electrode (11), that is part of a movable element and movable towards and from the first electrode between a first and a second position. The second electrode (11) is separated from the first electrode (101) by an air gap (110) in its first position. The movable element comprises a mechanical layer (12) and an intermediate layer, in which the second electrode (11) is defined. The second electrode (11) is constituted by a plurality of sections (131, 132, 133) in the intermediate layer, each of which is mechanically connected by a separate vertical interconnect (121, 122, 123) to the mechanical layer (12).
(FR) Cette invention concerne un dispositif électronique comprenant un élément avec systèmes micro-électromécaniques (MEMS) sur un premier côté d'un substrat (14). L'élément MEMS comporte une première électrode (101) et une seconde électrode (11), qui fait partie d'un élément mobile et qui peut se déplacer en direction et à partir de la première électrode entre une première et une seconde position. La seconde électrode (11) est séparée de la première électrode (101) par un entrefer (110) dans sa première position. L'élément mobile comprend une couche mécanique (12) et une couche intermédiaire, dans laquelle est définie la seconde électrode (11). La seconde électrode (11) est constituée dans la couche intermédiaire par plusieurs sections (131, 132, 133), qui sont chacune reliées mécaniquement par une interconnexion verticale séparée (121, 122, 123) à la couche mécanique (12).
