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1. (WO2006020631) DEVICE AND HANDLING SYSTEM FOR MEASUREMENT OF MOBILITY AND SHEET CHARGE DENSITY IN CONDUCTIVE SHEET MATERIALS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/020631    International Application No.:    PCT/US2005/028254
Publication Date: 23.02.2006 International Filing Date: 10.08.2005
IPC:
G01R 27/04 (2006.01), G01R 27/32 (2006.01)
Applicants: LEHIGHTON ELECTRONICS, INC. [US/US]; P.O BOX 328, Lehighton, PA 18235-0328 (US) (For All Designated States Except US).
BLEW, Austin, R. [US/US]; (US) (For US Only).
BRONKO, Michael, W. [US/US]; (US) (For US Only).
MURPHY, Steven, C. [US/US]; (US) (For US Only).
NGUYEN, Danh [US/US]; (US) (For US Only).
EBERHARDT, Nikolai [DE/US]; (US) (For US Only).
LICINI, Jerome, C. [US/US]; (US) (For US Only).
ZUIDERVLIET, William [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BLEW, Austin, R.; (US).
BRONKO, Michael, W.; (US).
MURPHY, Steven, C.; (US).
NGUYEN, Danh; (US).
EBERHARDT, Nikolai; (US).
LICINI, Jerome, C.; (US).
ZUIDERVLIET, William; (US)
Agent: CRONK, Peter, J.; Duane Morris LLP, One Liberty Place, Philadelphia, PA 19103-7396 (US)
Priority Data:
10/915,877 11.08.2004 US
60/659,847 09.03.2005 US
Title (EN) DEVICE AND HANDLING SYSTEM FOR MEASUREMENT OF MOBILITY AND SHEET CHARGE DENSITY IN CONDUCTIVE SHEET MATERIALS
(FR) DISPOSITIF ET SYSTEME DE MANIPULATION PERMETTANT DE MESURER LA MOBILITE ET LA CHARGE DE DENSITE D'UNE FEUILLE DANS DES MATERIAUX DE FEUILLE CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)An apparatus (10) for contactless measurement of sheet charge density and mobility includes a microwave source (16), a circular waveguide (50) for transmitting microwave power to a sample (59), such as a semiconductor wafer or panel for flat panel displays, at a measurement location, a first detector (18) for detecting the forward microwave power, a second detector (23) for detecting the microwave power reflected from the sample, and a third detector (95) for detecting the Hall effect power. An automatic positioning subsystem (700) is also provided for allowing automatic positioning of a wafer (59) within the test apparatus (10). The positioning system (700) includes a first end effector (706) and a rotator-lifter (704). The first end effector (706) can grasp a sheet element (59) and move it to a desired position within the test apparatus (10), while the rotator lifter (704) provides incremental adjustment of a theta angle of the sheet element (59) to allow automated mapping of an entire sheet element without the need for manual adjustment of the position of the sheet element. A second end effector (716) can be mounted opposite the first end effector (706) and can be used to automatically position the sheet element (59) within a sheet resistance testing module (718) located at an opposite end of the apparatus (10).
(FR)L'invention concerne un appareil (10) de mesure sans contact de densité de charge de feuille et de mobilité. Ledit appareil comprend une source micro-onde (16), un guide d'onde circulaire (50) permettant de transmettre une puissance micro-onde à un échantillon (59), tel qu'une tranche semi-conductrice ou un panneau destiné à des écrans d'affichage plat au niveau d'un emplacement de mesure, un premier détecteur (18) permettant de détecter la puissance micro-onde directe, un deuxième détecteur (23) permettant de détecter la puissance micro-onde réfléchie par l'échantillon, et un troisième détecteur (95) permettant de détecter la puissance de l'effet Hall. Un sous-système de positionnement automatique (700) est également prévu afin de permettre le positionnement automatique d'une tranche (59) à l'intérieur de l'appareil d'essai (10). Le système de positionnement (700) comprend un premier effecteur terminal (706) et un rotateur-élévateur (704). Le premier effecteur terminal (706) peut saisir un élément de feuille (59) et le déplacer vers une position désirée à l'intérieur de l'appareil d'essai (10) pendant que le rotateur-élévateur (704) produit un réglage incrémental d'un angle thêta de l'élément de feuille (59), ce qui permet un mappage automatique de la totalité de l'élément de feuille sans avoir recours à un réglage manuel de la position dudit élément de feuille. Un second effecteur terminal (716) peut être monté opposé au premier (706) et utilisé pour positionner automatiquement l'élément de feuille (59) à l'intérieur d'un module d'essai (718) de résistance de feuille situé au niveau de l'extrémité opposée de l'appareil (10).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)