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1. (WO2006018948) OBJECT PROCESSING DEVICE AND ITS METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2006/018948 International Application No.: PCT/JP2005/013372
Publication Date: 23.02.2006 International Filing Date: 21.07.2005
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: ARUGA, Michio[JP/JP]; JP (UsOnly)
SAITO, Koichi[JP/JP]; JP (UsOnly)
TAJIMA, Kaori[JP/JP]; JP (UsOnly)
Aqua Science Corporation[JP/JP]; German Center 1-18-2, Hakusan, Midori-ku Yokohama-shi, Kanagawa 2260006, JP (AllExceptUS)
Inventors: ARUGA, Michio; JP
SAITO, Koichi; JP
TAJIMA, Kaori; JP
Agent: ITOH, Atsushi; Shindo Building 2F 1-1, Shinkawa 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040033, JP
Priority Data:
2004-24100420.08.2004JP
Title (EN) OBJECT PROCESSING DEVICE AND ITS METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT D’OBJET ET SON PROCEDE
(JA) 対象物処理装置およびその方法
Abstract: front page image
(EN) An object processing device and method capable of carrying out removal of unwanted matter/cleaning/deburring/polishing of an object infallibly and effectively. The object processing device comprising a section for arranging an object to be processed in a predetermined atmosphere and a nozzle section for mixing supplied steam and water and spraying them to the object is further provided with a means for moving the object arranging section and/or the nozzle section so that the nozzle section performs spraying toward the object arranged at the object arranging section, and a means for controlling the relative speed (scanning speed) by controlling relative positional relation between the object arranging section and the nozzle section, and a means for controlling, in the spraying, parameters, such as the pressure of steam supplied to the nozzle section, the flowrate of water supplied to the nozzle section, the area of spraying opening of the nozzle section, the spraying time, the scanning speed, and the gap between the spraying opening of the nozzle section and the object.
(FR) L’invention porte sur un dispositif de traitement d’objet et sur un procédé permettant d’effectuer l’enlèvement de matière indésirable, le nettoyage, l’ébavurage, le polissage d’un objet de manière infaillible et efficace. Le dispositif de traitement d’objet comprend une section pour ranger un objet à traiter dans une atmosphère prédéterminée et une section à buse pour mélanger la vapeur et l’eau acheminées et pour les pulvériser sur l’objet et il dispose en outre d’un moyen pour déplacer la section de rangement d’objet et/ou la section à buse pour que cette dernière procède à une pulvérisation sur l’objet installé au niveau de la section de rangement d’objet, et d’un moyen par contrôler la vitesse relative (vitesse de balayage) en contrôlant la relation positionnelle relative entre la section de rangement d’objet et la section à buse, de même que d’un moyen pour contrôler, pendant la pulvérisation, des paramètres comme la pression de vapeur acheminée dans la section à buse, le débit d’eau acheminée dans la section à buse ; la zone d’ouverture de pulvérisation de la section à buse, le temps de pulvérisation, la vitesse de balayage et l’espace ente l’ouverture de pulvérisation de la section à buse et l’objet.
(JA) not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)