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1. WO2006018738 - A METHOD FOR EVALUATING THE QUALITY OF DATA COLLECTION IN A MANUFACTURING ENVIRONMENT

Publication Number WO/2006/018738
Publication Date 23.02.2006
International Application No. PCT/IB2005/003002
International Filing Date 22.08.2005
IPC
G05B 23/02 2006.1
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02Electric testing or monitoring
CPC
G05B 21/02
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
21Systems involving sampling of the variable controlled
02electric
G05B 23/0264
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02Electric testing or monitoring
0205by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
0259characterized by the response to fault detection
0264Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
Applicants
  • PDF SOLUTIONS SA [FR]/[FR] (AllExceptUS)
  • RAYMOND, Thierry [FR]/[FR] (UsOnly)
Inventors
  • RAYMOND, Thierry
Agents
  • MARTIN, Jean-Jacques
Priority Data
60/603,39920.08.2004US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) A METHOD FOR EVALUATING THE QUALITY OF DATA COLLECTION IN A MANUFACTURING ENVIRONMENT
(FR) PROCEDE D'EVALUATION DE LA QUALITE D'UN RECUEIL DE DONNEES DANS UN ENVIRONNEMENT DE FABRICATION
Abstract
(EN) A method for evaluating the quality of data collection in a manufacturing environment is provided. Said data are intended to be analyzed by a process control system The method comprising the following steps: (A) collecting raw data according to a Data Collection plan specifying, and for each data item, a sampling time reference indicating at which time interval it is expected, and associating to each collected data item a timestamp indicating its actual collection time, (B) for at least a part of the raw data included inside a predetermined window, determining a Data Collection Quality Value (DCQV) by: (a) reading the timestamps; (b) computing at least one quality indicator value from the relationship between each timestamp and the corresponding time reference, wherein a shift represents a malfunction of the equipment or of the data collection system; (c) after steps (b) and (c) have been performed for all data items, computing a single data collection quality value (DCQV) indicator for said time window. Application to data qualification for analysis and equipment qualification e.g. in a semiconductor fab.
(FR) L'invention concerne un procédé d'évaluation de la qualité d'un recueil de données dans un environnement de fabrication. Lesdites données doivent être analysées par un système de contrôle de procédé. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes : (A) collecte des données brutes, conformément aux spécifications d'un plan de collecte de recueil et, pour chaque objet de données, référence du temps d'échantillonnage indiquant quel intervalle de temps il y a lieu d'envisager, et association, à chaque objet de données collectées, d'une référence temporelle indiquant son temps de collecte réel, (B) pour au moins une partie des données brutes comprises dans une fenêtre prédéterminée, détermination d'une valeur de qualité de recueil de données (DCQV) par : (a) lecture des marques temporelles ; (b) calcul d'au moins une valeur indicatrice de qualité, en partant de la relation entre chaque marque temporelle et de la référence temporelle correspondante, un décalage représentant un dysfonctionnement du matériel ou du système de recueil de données ; (c) une fois les étapes (b) et (c) effectuées pour tous les objets de données, calcul d'une seule valeur de qualité de recueil de données, indicatrice pour ladite fenêtre temporelle. Application à la qualification de données pour analyse et à la qualification d'un matériel, par exemple, dans la fabrication de semi-conducteurs.
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