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1. (WO2006018387) GRIPPER UNIT, MOUNTING HEAD, AND METHOD FOR FITTING SUBSTRATES WITH ELECTRICAL COMPONENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2006/018387 International Application No.: PCT/EP2005/053832
Publication Date: 23.02.2006 International Filing Date: 04.08.2005
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H05K 13/04 (2006.01) ,F04F 5/52 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
683
for supporting or gripping
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
K
PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
13
Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
04
Mounting of components
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
F
PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
5
Jet pumps, i.e. devices in which fluid flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
44
Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02-F04F5/42148
48
Control
52
of evacuating pumps
Applicants: BURGER, Stefan[DE/DE]; DE (UsOnly)
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT[DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 80333 München, DE (AllExceptUS)
Inventors: BURGER, Stefan; DE
Common
Representative:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34 80506 München, DE
Priority Data:
10 2004 038 839.310.08.2004DE
Title (EN) GRIPPER UNIT, MOUNTING HEAD, AND METHOD FOR FITTING SUBSTRATES WITH ELECTRICAL COMPONENTS
(FR) UNITE DE PREHENSION, TETE DE MONTAGE ET PROCEDE POUR APPAREILLER DES SUBSTRATS AVEC DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES
(DE) GREIFEREINHEIT, BESTÜCKKOPF UND VERFAHREN ZUM BESTÜCKEN VON SUBSTRATEN MIT ELEKTRISCHEN BAUELEMENTEN
Abstract:
(EN) Disclosed is a gripper unit comprising an ejector pump (1) that is provided with a compressed air connection, a vacuum connection, and a used air connection. The gripper unit further comprises a gripper (2) encompassing a suction port that is pneumatically coupled to the vacuum connection, a controllable valve (5) located between the compressed air connection and a compressed air supply (4), and a reservoir (3) which is pneumatically coupled to the used air connection. The compressed air supply (4) is pneumatically coupled to the compressed air connection of the injector pump (1) in a first position of the controllable valve (5) such that compressed air flows into the reservoir (3) via the injector pump (1) and vacuum is applied at the suction port of the gripper (2) while the injector pump (1) is separated from the compressed air supply (4) in a second position of the controllable valve (5) such that used air of the injector pump (1), which is stored in the reservoir (3), flows to the suction port of the gripper (2) via the injector pump (1), thus allowing the consumption of compressed air to be significantly reduced.
(FR) L'invention concerne une unité de préhension comprenant une pompe d'éjection (1) comprenant une connexion d'air comprimé, une connexion sous-vide et une connexion d'air utilisé. Ladite unité de préhension comprend une pince (2) comprenant un orifice d'aspiration qui est couplé de manière pneumatique à la connexion sous-vide, une soupape (5) pouvant être commandée, située entre la connexion d'air comprimé et l'alimentation d'air comprimé (4), et un réservoir (3) qui est couplé de manière pneumatique à la connexion d'air utilisée. Ladite alimentation en air comprimé (4) est couplée de manière pneumatique avec la connexion d'air comprimé de la pompe à injection (1) dans une première position de la soupape (5) pouvant être commandée, de sorte que l'air comprimé s'écoule dans le réservoir (3) par l'intermédiaire de la pompe à injection (1) et le vide est fait sur l'orifice d'aspiration de la pince (2), tandis que la pompe à injection (1) est séparée de l'alimentation en air comprimé (4) dans une seconde position de la soupape (5) pouvant être commandée, de sorte que l'air utilisé de la pompe à injection (1), qui est stockée dans le réservoir (3) s'écoule vers l'orifice d'aspiration de la pince (2) par l'intermédiaire de la pompe d'injection (1), ce qui permet de réduire de manière significative la consommation d'air comprimé.
(DE) Bei einer Greifereinheit mit einer Strahlvakuumpumpe (1), welche einen Druckluftanschluss, einen Vakuumanschluss und einen Abluftanschluss aufweist, einem Greifer (2), der eine Ansaugöffnung, wobei die Ansaugöffnung mit dem Vakuumanschluss pneumatisch gekoppelt ist, einem steuerbaren Ventil (5), welches zwischen dem Druckluftanschluss und einer Druckluftversorgung (4) vorgesehen ist, und einem Sammelbehälter (3), der mit dem Abluftanschluss pneumatisch gekoppelt ist, sind, in einer ersten Position des steuerbaren Ventils (5), die Druckluftversorgung (4) mit dem Druckluftanschluss der Strahlvakuumpumpe (1) pneumatisch gekoppelt, sodass Druckluft über die Strahlvakuumpumpe (1) in den Sammelbehälter (3) strömt und an der Ansaugöffnung des Greifer (2) Vakuum anliegt, und ist, in einer zweiten Position des steuerbaren Ventils (5), die Strahlvakuumpumpe (1) von der Druckluftversorgung (4) getrennt, sodass im Sammelbehälter (3) gespeicherte Abluft der Strahlvakuumpumpe (1) über die Strahlvakuumpumpe (1) zur Ansaugöffnung des Greifers (2) strömt. Dadurch kann der Druckluftverbrauch deutlich verringert werden.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)