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1. (WO2006015732) ELECTRONIC BEAM DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/015732    International Application No.:    PCT/EP2005/008216
Publication Date: 16.02.2006 International Filing Date: 28.07.2005
IPC:
H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS NTS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 56, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
ESSERS, Erik [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BENNER, Gerd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DREXEL, Volker [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ESSERS, Erik; (DE).
BENNER, Gerd; (DE).
DREXEL, Volker; (DE)
Agent: TONGBHOYAI, Martin; An Gross St. Martin 2, 50667 Köln (DE)
Priority Data:
10 2004 037 781.2 03.08.2004 DE
Title (DE) ELEKTRONENSTRAHLGERÄT
(EN) ELECTRONIC BEAM DEVICE
(FR) APPAREIL A FAISCEAU ELECTRONIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (10), mit einem Strahlerzeuger (11) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (4) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (9) und mindestens einem Detektor (19) zur Detektion von am Objekt (9) zurückgestreuten oder vom Objekt (9) emittierten Elektronen. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Elektronenstrahlgerät die Detektion von am Objekt zurückgestreuten Elektronen oder vom Objekt emittierten Elektronen zu vereinfachen und zu verbessern. Erfindungsgemäß sind hierzu Quadrupoleinrichtungen (7, 8) sowie bestimmte Anordnungen dieser Einrichtungen im Elektronenstrahlgerät (10) vorgesehen.
(EN)The invention relates to an electronic beam device (10) comprising an electron gun (11) for producing an electron beam, an objective lens (4) for focusing said electron beam on an object (9) and at least one detector (19) for detecting electrons which are backscattered or emitted by the object (9). For the inventive electronic beam device, the aim of said invention is to simplify and improve the detection of the electrons backscattered or emitted by the object. For this purpose, said invention provides for quadrupole devices (7, 8) and the determined arrangements for said devices in the electronic beam device (10).
(FR)L'invention concerne un appareil à faisceau électronique (10) comprenant un canon à électrons (11) pour la production d'un faisceau électronique, une lentille d'objectif (4) pour la focalisation du faisceau électronique sur un objet (9), et au moins un détecteur (19) pour la détection d'électrons rétrodiffusés sur l'objet (9) ou émis par l'objet (9). L'invention a pour but, pour un tel appareil à faisceau électronique, de simplifier et d'améliorer la détection des électrons rétrodiffusés ou émis par l'objet. A cet effet, il est prévu, conformément à l'invention, des dispositifs quadripolaires (7, 8), ainsi que des dispositions déterminées de ces dispositifs dans l'appareil à faisceau électronique (10).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)