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1. (WO2006013888) CARBON ELECTRODE FOR GENERATION OF NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2006/013888 International Application No.: PCT/JP2005/014197
Publication Date: 09.02.2006 International Filing Date: 03.08.2005
IPC:
C25B 11/12 (2006.01) ,C25B 1/24 (2006.01)
Applicants: TASAKA, Akimasa[JP/JP]; JP (UsOnly)
KODAMA, Masashi[JP/JP]; JP (UsOnly)
TANAKA, Udai[JP/JP]; JP (UsOnly)
TAKEBAYASHI, Hitoshi[JP/JP]; JP (UsOnly)
TOJO, Tetsuro[JP/JP]; JP (UsOnly)
MIMOTO, Atsuhisa[JP/JP]; JP (UsOnly)
TOYO TANSO CO., LTD.[JP/JP]; 7-12, Takeshima 5-chome, Nishiyodogawa-ku Osaka-shi, Osaka 5550011, JP (AllExceptUS)
MITSUI CHEMICALS, INC.[JP/JP]; 5-2, Higashi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1057117, JP (AllExceptUS)
Inventors: TASAKA, Akimasa; JP
KODAMA, Masashi; JP
TANAKA, Udai; JP
TAKEBAYASHI, Hitoshi; JP
TOJO, Tetsuro; JP
MIMOTO, Atsuhisa; JP
Agent: KAJI, Yoshiyuki; c/o KAJI, SUHARA & ASSOCIATES Recruit Shin Osaka BLDG. 14-22, Nishinakajima 5-chome Yodogawa-ku, Osaka-shi Osaka 5320011, JP
Priority Data:
2004-22932605.08.2004JP
Title (EN) CARBON ELECTRODE FOR GENERATION OF NITROGEN TRIFLUORIDE GAS
(FR) ÉLECTRODE DE CARBONE POUR LA PRODUCTION DE GAZ DE TRIFLUORURE D'AZOTE
(JA) 三フッ化窒素ガス発生用炭素電極
Abstract:
(EN) A carbon electrode having a low porosity in its structure and having a relatively high mechanical strength produced only through a process of mixing a specified metal fluoride with a carbon material and firing the mixture, which carbon electrode is one for production of nitrogen trifluoride gas that irrespective of either NH4F-KF-HF gas or NH4F-HF gas, is not polarized and ensures a prolonged service life. There is provided a carbon electrode for generation of nitrogen trifluoride gas, comprising a dense structure of ≤ 0.5 μm average pore diameter. The carbon electrode is preferably composed of a carbonaceous material and al least one member selected from among aluminum fluoride and magnesium fluoride having a melting point not lower than the firing temperature of the carbonaceous material. The content of al least one member selected from among aluminum fluoride and magnesium fluoride mentioned above is preferably in the range of 3 to 10 wt.%.
(FR) L'invention se rapporte à une électrode de carbone possédant un faible porosité dans sa structure et ayant une résistance mécanique relativement élevée, produite seulement par un procédé de mélange d'un fluorure de métal spécifique avec un matériau de carbone et en cuisant le mélange, laquelle électrode de carbone est utilisée pour la production du gaz trifluorure de carbone qui, quelque soit le gaz NH4F-KF-HF ou le gaz NH4F-HF, n'est pas polarisé et assure une durée de vie prolongée. Cette invention concerne une électrode de carbone pour la production du gaz trifluorure d'azote, comprenant une structure dense avec un diamètre de pore moyen de ≤ 0.5 µm. L'électrode de carbone est, de préférence, composée d'un matériau carboné et au moins un élément sélectionné parmi le fluorure d'aluminium et le fluorure de magnésium ayant un point de fusion qui n'est pas en dessous de la température de cuisson du matériau carboné. Le contenu d'au moins un élément sélectionné parmi le groupe composé de fluorure d'aluminium et du fluorure de magnésium, susmentionnés, est, de préférence dans la fourchette de 3 à 10 poids.%.
(JA)  特定の金属フッ化物を炭素材料と混合し焼成する工程を経るだけで組織に気孔の少ない比較的機械的強度の高い炭素電極を製作し、NH4F-KF-HF系、NH4F-HF系のいずれであっても炭素電極が分極することなく長寿命を示す三フッ化窒素ガス製造用炭素電極を提供する。  本発明の三フッ化窒素ガス発生用炭素電極は、平均気孔径が0.5μm以下の緻密な組織からなるものである。また、炭素質材料と、前記炭素質材料の焼成温度以上の融点を持つフッ化マグネシウム、フッ化アルミニウムの内から選ばれる少なくとも1種以上のものからなることが好ましい。また、前記フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウムの内から選ばれる少なくとも1種以上のものの含有率は、3~10wt%であることが好ましい。                                                                                 
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)