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1. (WO2006012840) LASER DOPING OF SOLID BODIES USING A LINEAR-FOCUSSED LASER BEAM AND PRODUCTION OF SOLAR-CELL EMITTERS BASED ON SAID METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/012840    International Application No.:    PCT/DE2005/001280
Publication Date: 09.02.2006 International Filing Date: 21.07.2005
IPC:
H01L 21/225 (2006.01), H01L 21/223 (2006.01), H01L 21/268 (2006.01), H01L 31/18 (2006.01)
Applicants: WERNER, Jürgen, H. [DE/DE]; (DE).
KÖHLER, Jürgen [DE/DE]; (DE).
ESTURO-BRETON, Ainhoa [ES/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: WERNER, Jürgen, H.; (DE).
KÖHLER, Jürgen; (DE).
ESTURO-BRETON, Ainhoa; (DE)
Agent: LAMBSDORFF, Matthias; Dingolfinger Strasse 6, 81673 München (DE)
Priority Data:
10 2004 036 220.3 26.07.2004 DE
Title (DE) LASERDOTIERUNG VON FESTKÖRPERN MIT EINEM LINIENFOKUSSIERTEN LASTERSTRAHL UND DARAUF BASIERENDE HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN-EMITTERN
(EN) LASER DOPING OF SOLID BODIES USING A LINEAR-FOCUSSED LASER BEAM AND PRODUCTION OF SOLAR-CELL EMITTERS BASED ON SAID METHOD
(FR) DOPAGE LASER D'ELEMENTS SOLIDES AU MOYEN D'UN FAISCEAU LASER A FOCALISATION LINEAIRE ET FABRICATION D'EMETTEURS DE CELLULES SOLAIRES BASEE SUR CE PROCEDE
Abstract: front page image
(DE)Bei dem erfindungsgemäßen Laserdotierverfahren wird zunächst ein Medium, welches einen Dotierstoff enthält, mit einer Oberfläche des Festkörpers in Kontakt gebracht. Dann wird durch Bestrahlung mit Laserimpulsen ein Bereich des Festkörpers unterhalb der mit dem Medium kontaktierten Oberfläche kurzzeitig aufgeschmolzen, so dass der Dotierstoff in den aufgeschmolzenen Bereich eindiffundiert und während des Abkühlens der aufgeschmolzene Bereich kristallisiert. Der Laserstrahl wird in einem Linienfokus auf den Festkörper fokussiert, wobei vorzugsweise die Breite des Linienfokus kleiner 10 µm beträgt.
(EN)The invention relates to a laser doping method, according to which a medium containing a doping substance is first brought into contact with a surface of the solid body. One region of the solid body lying below the surface that has been brought into contact with the medium is then melted for a short time by irradiation with laser pulses, allowing the doping substance to diffuse into the melted region and the latter to crystallise during the cooling process. The laser beam is focussed on the solid body in a linear manner, the width of said linear focus being preferably less than 10 $g(m)m.
(FR)L'invention concerne un procédé de dopage laser, selon lequel un milieu contenant une matière de dopage est d'abord mis en contact avec une surface d'un élément solide. Puis, une zone de l'élément solide située en-dessous de la surface mise en contact avec le milieu est brièvement fondue par impulsions laser, de sorte que la matière de dopage se diffuse à l'intérieur de la zone fondue, laquelle se cristallise en refroidissant. L'invention est caractérisée en ce que le faisceau laser a une focalisation linéaire sur l'élément solide, la largeur de cette focalisation linéaire étant de préférence inférieure à 10 µm.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)