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1. (WO2006012062) METHOD AND APPARATUS FOR GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT COHERENCY REDUCTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2006/012062    International Application No.:    PCT/US2005/021576
Publication Date: 02.02.2006 International Filing Date: 17.06.2005
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), H01S 3/22 (2006.01), G02B 5/04 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (For All Designated States Except US).
RAFAC, Robert, J. [US/US]; (US) (For US Only).
SMITH, Scot, T. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: RAFAC, Robert, J.; (US).
SMITH, Scot, T.; (US)
Agent: CRAY, William, C.; Cymer, Inc., Legal Dept., MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Priority Data:
10/881,533 29.06.2004 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT COHERENCY REDUCTION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REDUCTION DE COHERENCE POUR LA LUMIERE EMISE PAR UN LASER A DECHARGE GAZEUSE
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus for producing with a gas discharge laser an output laser beam comprising output laser light pulses, for delivery as a light source to a utilizing tool is disclosed which may comprise a beam path ( 80 ) and a beam homogenizer ( 60 ) in the beam path.
(FR)Procédé et dispositif permettant de produire avec un laser à décharge gazeuse un faisceau de sortie laser comprenant des impulsions lumineuses transmises comme source de lumière à un outil utilisateur, qui peut comprend un chemin de faisceau et un homogénéisateur dans le trajet du faisceau. L'homogénéisateur peut comprendre au moins un inverseur d'image de faisceau ou un rotateur spatial, pouvant lui-même comporter un décaleur de positon de cellule de cohérence. Cet homogénéisateur peut comprendre un chemin de retard plus long, mais dont le retard est approximativement le même que la longueur de cohérence temporelle du faisceau source. Ledit homogénéisateur peut comporter une paire de prismes de Wollaston accolés dont chacune des surfaces accolées possède un revêtement partiellement réfléchissant, un prisme en triangle rectangle dont la face de l'hypoténuse se trouve face au rayon source ou un prisme en triangle isocèle présentant une face tournée vers le faisceau source et des faces latérales accolées entièrement réfléchissantes ou des combinaisons de celles-ci, qui peuvent faire office de mécanisme générateur d'images inversées à alternance multiples de faisceau source.Le chemin du faisceau peut s'inscrire dans une largeur de bande permettant de mesurer les largeurs de bande d'un faisceau laser de sortie comprenant une lumière laser de sortie dans la plage de moins de 500 femtomètres avec une précision de l'ordre de dizaines de femtomètres. L'homogénéisateur peut comprendre un diffuseur tournant, lequel peut être un diffuseur en verre dépoli éventuellement gravé. L'ondemètre peut également comporter un collimateur dans le chemin de faisceau qui collimate la lumière diffusée; un étalon confocal générant une sortie à partir de la lumière collimatée pénétrant dans ledit étalon confocal; et un détecteur détectant la sortie de l'étalon confocal, pouvant également comporter un mécanisme de balayage qui balaye l'angle d'incidence de la lumière collimatée pénétrant dans l'étalon confocal, qui peut balayer la lumière collimatée au travers de l'étalon confocal ou balayer l'étalon au travers de la lumière collimatée, et qui peut comprend un scanner acoustico-optique. L'étalon confocal peut posséder une plage spectrale approximativement égale à la largeur E95 du faisceau mesuré. Le détecteur peut comprendre un photomultiplicateur qui détecte le profil d'intensité de la sortie de l'étalon confocal.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)