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Pub. No.:    WO/2006/011852    International Application No.:    PCT/SG2004/000225
Publication Date: 02.02.2006 International Filing Date: 29.07.2004
G06K 9/00 (2006.01)
Applicants: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH [SG/SG]; 20 Biopolis Way, #07-01 Centros, Singapore 138668 (SG) (For All Designated States Except US).
LIU, Tong [CN/SG]; (SG) (For US Only).
FANG, Zhongping [CN/SG]; (SG) (For US Only)
Inventors: LIU, Tong; (SG).
FANG, Zhongping; (SG)
Agent: ALBAN TAY MAHTANI & DE SILVA; 39 Robinson Road, #07-01 Robinson Point, Singapore 068911 (SG)
Priority Data:
Abstract: front page image
(EN)An inspection system (10) for three dimensional inspection of minute objects (11) on a substrate (12) , the system comprising: a calibration module (20) to calibrate an inspection angle (30) for capturing an oblique image of the objects, the calibration of the inspection angle being performed by using one object as a reference; at least one image capturor (23) to capture a first image of the objects, and to capture an oblique image of the objects; and an image processor (24) to determine the position of the objects using the first image, and the height of the objects using the oblique image and the first image; wherein if the height of an object is not within a predetermined criteria it is classified as defective and the position of the defective object is identified.
(FR)La présente invention se rapporte à un système d'examen (10) permettant d'examiner en trois dimensions des objets minuscules (11) sur un substrat (12). Le système selon l'invention comprend : un module d'étalonnage (20), qui étalonne un angle d'examen (30) permettant de capturer une image oblique des objets, l'étalonnage de l'angle d'examen faisant appel à un seul objet servant de référence ; au moins un dispositif de capture d'images (23), destiné à capturer une première image des objets, ainsi qu'une image oblique desdits objets ; et un dispositif de traitement d'images (24), qui détermine la position des objets à l'aide de la première image, et la hauteur desdits objets à l'aide de l'image oblique et de la première image. Si sa hauteur ne se trouve pas dans une plage prédéterminée, l'objet est déterminé comme étant défectueux, et la position du dispositif défectueux est identifiée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)