Processing

Please wait...

Settings

Settings

1. WO2006010395 - SENSOR MODULE FOR THE SCANNING HEAD OF A TACTILE CO-ORDINATE MEASURING DEVICE

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

Patentansprüche

1. Sensormodul für einen Tastkopf eines taktilen Koordinaten- messgerätes, mit einem Rahmen (42), der eine feststehende Modulbasis bildet und damit eine erste Messebene (60) definiert, und mit einem relativ zum Rahmen (42) beweglichen Teil (44), der dazu ausgebildet ist, das proximale Ende (58) eines Taststiftes (56) aufzunehmen, wobei der bewegliche Teil (44) über zumindest zwei, vorzugsweise über vier, voneinander getrennte Stege (46) an dem Rahmen (42) gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Steg (46) im Querschnitt senkrecht zur ersten Messebene (60) einen materialstarken Stegbereich (50) aufweist, der zwischen zwei materialschwachen Stegbereichen (52, 54) ausgebildet ist, wobei der materialstarke Stegbereich (50) eine Materialdicke (Dg) besitzt, die größer ist als eine entsprechende Materialdicke (ds) der materialschwachen Stegbereiche (52, 54).

2. Sensormodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Materialdicke (ds) der materialschwachen Stegbereiche (52, 54) höchstens 50% der Materialdicke (D5) des materialstarken Stegbereichs (50) beträgt, vorzugsweise höchstens 30% und noch weiter bevorzugt etwa 3% bis 10%.

3. Sensormodul nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Stege (46) parallel zur ersten Messebene (60) eine Stegbreite (Bs) und eine Steglänge (L3) besitzen, wobei die Stegbreite (B3) zumindest ein Drittel, vorzugsweise etwa die Hälfte der Steglänge (L3) oder mehr beträgt.

4. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die materialschwachen Stegbereiche (52, 54) und der materialstarke Stegbereich (50) in etwa dieselbe Stegbreite (Bs) besitzen.

5. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass jeder materialschwache Stegbereich (52, 54) als Schlitz ausgebildet ist, der quer zum Steg (46) verläuft und dessen Schlitzbreite (I3) in Stegrichtung höchstens 20 % der Länge (Ls) des materialstarken Bereichs (50) beträgt, vorzugsweise etwa 2% bis 10%.

6. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die materialschwachen Stegbereiche (52, 54) Anschlussstellen des Steges (46) an den Rahmen (42) und an den beweglichen Teil (44) bilden.

7. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der bewegliche Teil (44) in einer Ansicht senkrecht zur ersten Messebene (60) kreuzförmig ausgebildet ist.

8. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der bewegliche Teil (44') in einer Ansicht senkrecht zur ersten Messebene (60) quadratisch ausgebildet ist.

9. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 8 , dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (42) im Querschnitt senkrecht zur ersten Messebene (60) eine Materialdicke (DR) aufweist, die in etwa gleich der Materialdicke (Ds) des materialstarken Stegbereichs (50) ist.

10. Sensorraodul nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (42) und die Stege (46) senkrecht zur ersten Messebene (60) Seitenflanken besitzen, die nahezu senkrecht zur ersten Messebene (60) verlaufen.

11. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (42) und die Stege (46) aus einem massiven Halbleitermaterial herausgeätzt sind, und zwar vorzugsweise mit Hilfe eines Trockenätzverfahrens .

12. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Stege (46) von dem Rahmen (42) nur durch eine umlaufende Nut (82) getrennt sind.

13. Sensormodul nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch einen Taststift (56), der unlösbar an dem beweglichen Teil (44) befestigt ist.

14. Sensormodul nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Taststift (56) eine Taststiftlänge (Lτ) besitzt, die zumindest das Zwei- bis Sechsfache einer Steglänge (Ls) beträgt.

15. Sensormodul nach einem der Ansprüche' 1 bis 14, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Sensorelementen, die im Bereich der Stege angeordnet sind, sowie eine Vielzahl von elektrischen Kontaktflächen (70) zum Anschluss der Sensorelemente, die auf dem Rahmen (42) angeordnet sind, und zwar vorzugsweise auf einer vom Taststift abgewandten Seite des Rahmens (42).