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1. (WO2005124842) LASER IRRADIATION METHOD, LASER IRRADIATION APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2005/124842 International Application No.: PCT/JP2005/011401
Publication Date: 29.12.2005 International Filing Date: 15.06.2005
IPC:
H01L 21/268 (2006.01) ,H01L 21/20 (2006.01) ,H01L 21/336 (2006.01) ,H01L 29/786 (2006.01) ,H01S 3/00 (2006.01)
Applicants: TANAKA, Koichiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
YAMAMOTO, Yoshiaki[JP/JP]; JP (UsOnly)
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.[JP/JP]; 398, Hase Atsugi-shi Kanagawa,2430036, JP (AllExceptUS)
Inventors: TANAKA, Koichiro; JP
YAMAMOTO, Yoshiaki; JP
Priority Data:
2004-18057418.06.2004JP
Title (EN) LASER IRRADIATION METHOD, LASER IRRADIATION APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D’IRRADIATION LASER, APPAREIL D’IRRADIATION LASER, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR
Abstract: front page image
(EN) The present invention is to provide a technique that can increase productivity with high output power by combining a plurality of laser beams on an irradiation surface without any difficulties in optical alignment. According to this technique, laser beams having different wavelengths are combined using a plurality of laser oscillators and a dichroic mirror, or additionally a polarizer. For example, a first laser beam emitted from a first laser oscillator is combined with a second laser beam emitted from a second laser oscillator having different wavelength from the first laser beam in such a way that the first laser beam passes through a dichroic mirror and the second laser beam is reflected on the dichroic mirror, and the combined laser beam is projected to an irradiation surface.
(FR) La présente invention porte sur une technique susceptible d’augmenter la productivité avec une puissance de sortie élevée en combinant une pluralité de faisceaux laser sur une surface d’irradiation sans poser de difficultés pour l’alignement optique. Selon cette technique, on combine des faisceaux laser de longueur d’onde différente à l’aide d’une pluralité d’oscillateurs laser et d’un miroir dichroïque, ou éventuellement d’un polarisateur. Par exemple, on combine un premier faisceau laser émis d’un premier oscillateur laser avec un second faisceau laser émis d’un second oscillateur laser de longueur d’onde différente du premier faisceau laser pour que le premier faisceau laser passe à travers un miroir dichroïque et le second faisceau laser soit réfléchi sur le miroir dichroïque, et le faisceau laser combiné est projeté sur une surface d’irradiation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)