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1. (WO2005124831) LIGHT DETECTING APPARATUS, ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/124831    International Application No.:    PCT/JP2005/010356
Publication Date: 29.12.2005 International Filing Date: 06.06.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G01J 1/00 (2006.01), G01J 1/04 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
KOYAMA, Motoo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KOYAMA, Motoo; (JP)
Agent: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg. 10, Kanda-tsukasacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
Priority Data:
2004-180816 18.06.2004 JP
Title (EN) LIGHT DETECTING APPARATUS, ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE METHOD
(FR) APPAREIL DE D)TECTION LUMINEUSE, APPAREIL OPTIQUE D')CLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION ET M)THODE D'EXPOSITION
(JA) 光検出装置、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Abstract: front page image
(EN)A light detecting apparatus which can be arranged even in a light path having a relatively large converging angle and can highly accurately detect light that enters in a prescribed direction in the light path. The light detecting apparatus (10) detects the light that enters in the prescribed direction in the light path. The light detecting apparatus is provided with a light branching element (11) having two optical planes (11a, 11b) arranged in the light path, and a photoelectric detector (12) for photoelectrically detecting the light propagated inside the light branching element and extracted from a side plane (11c) of the light branching element. The light branching element has an incidence angle converting part (13) for converting a part of the light that entered one of the optical planes of the light branching element into light that enters the other optical plane at an incidence angle of a total reflection angle or more.
(FR)Cet appareil de détection lumineuse peut être agencé, même dans un parcours de lumière ayant un angle de convergence relativement grand ; il qui peut détecter précisément de la lumière entrant dans une direction prescrite dans le parcours lumineux. L'appareil de détection lumineuse (10) détecte la lumière qui entre dans la direction prescrite dans le parcours lumineux. L'appareil de détection lumineuse est fourni avec un élément de dérivation de lumière (11) ayant deux plans optiques (11a, 11b) agencés dans le parcours de lumière et un détecteur photoélectrique (12) pour détecter au plan photoélectrique la lumière propagée dans l'élément de dérivation de lumière et extraite d'un plan latéral (11c) de l'élément de dérivation lumineuse. L'élément de dérivation lumineuse possède une partie de conversion de l'angle d'incidence (13) pour convertir une partie de la lumière qui est entrée dans l'un des plans optiques de l'élément de dérivation lumineuse en lumière qui entre dans l'autre plan optique à l'angle d'incidence d'un angle de réfection totale ou plus.
(JA) 集光角が比較的大きい光路中にも配置することができ、光路中において所定の向きに入射する光を高精度に検出することのできる光検出装置。光路中において所定の向きに入射する光を検出する光検出装置(10)。光路中に配置される2つの光学面(11a,11b)を有する光分岐素子(11)と、該光分岐素子の内部を伝播して光分岐素子の側面(11c)から導出された光を光電検出するための光電検出器(12)とを備えている。光分岐素子は、光分岐素子の一方の光学面に入射した光の一部を全反射角度以上の入射角度で他方の光学面に入射する光に変換するための入射角度変換部(13)を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)