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Pub. No.:    WO/2005/124492    International Application No.:    PCT/JP2005/011684
Publication Date: 29.12.2005 International Filing Date: 20.06.2005
G05D 16/00 (2006.01), G01F 25/00 (2006.01)
Applicants: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP) (For All Designated States Except US).
TANAKA, Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SUZUKI, Shigehiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TANAKA, Makoto; (JP).
SUZUKI, Shigehiro; (JP)
Agent: TOKKYO GYOMUHOJIN MEISEI INTERNATIONAL PATENT FIRM; Mitsui-Sumitomo Bank Bldg., 7th floor 18-19, Nishiki 2-chome, Naka-ku Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
Priority Data:
2004-182362 21.06.2004 JP
2005-153314 26.05.2005 JP
(JA) 流量制御装置及びその調整方法
Abstract: front page image
(EN)A mass flow controller arranged to perform mass flow test operation in the controller itself by incorporating a test tank. The mass flow controller is provided, in a channel (6) for feeding fluid, with a means (8) for detecting the mass flow rate of fluid flowing through the channel and outputting a flow rate signal, and a mechanism (10) for controlling the mass flow rate by varying the valve opening by a valve drive signal, and comprises a means (18) for controlling the flow rate control valve mechanism based on an external flow rate setting signal and the flow rate signal. The flow channel is provided with a test valve section (42) for opening/closing the channel, a test tank section (44) having a specified capacity, and a means (46) for detecting the fluid pressure and outputting a pressure detection signal. A test control means (48) controls mass flow rate test operation to be carried out using the test valve, the test tank section and the pressure detecting means.
(FR)Un contrôleur de débit massique est réglé pour effectuer un essai de débit massique dans le contrôleur lui-même à l’aide d’un bac d’essai incorporé. Le contrôleur de débit massique est équipé, dans un canal (6) d’alimentation en fluide, d’un moyen (8) de détecter le débit massique du fluide s’écoulant dans le canal et d’émettre un signal de débit et d’un mécanisme (10) de contrôle du débit massique faisant varier l’ouverture de la soupape grâce à un signal de commande de la soupape et comprend un moyen (18) de contrôle du mécanisme de contrôle du débit basé sur un signal de configuration du débit externe et sur le signal du débit. Le canal du flux est équipé d’une section de soupape d’essai (42) pour ouvrir/fermer le canal, d’une section de bac d’essai (44) disposant d’une capacité spécifique et d’un moyen (46) de détecter la pression du fluide et de renvoyer un signal de détection de la pression. Un moyen de contrôle d’essai (48) contrôle l’opération d’essai du débit massique à effectuer à l’aide de la soupape d’essai, de la section du bac d’essai et du moyen de détection de la pression.
(JA) 検定用タンクを組み込んで装置自体で質量流量の検定動作を行うようにした質量流量制御装置を提供する。流体を流す流路6に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段8と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構10とを介設し、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段18を設けてなる質量流量制御装置において、前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部42と、所定の容量を有する検定用タンク部44と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段46とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段48を備えるように構成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)