WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2005121912) METHOD OF CONTROLLING OPERATION OF A PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/121912    International Application No.:    PCT/GB2005/001993
Publication Date: 22.12.2005 International Filing Date: 03.06.2005
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: THE BOC GROUP PLC [GB/GB]; Chertsey Road, Windlesham, Surrey GU20 6HJ (GB) (For All Designated States Except US).
SMITH, James, Robert [GB/GB]; (GB) (For US Only).
CZERNIAK, Michael, Roger [GB/GB]; (GB) (For US Only).
GIBBINS, Nigel, James [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: SMITH, James, Robert; (GB).
CZERNIAK, Michael, Roger; (GB).
GIBBINS, Nigel, James; (GB)
Agent: BOOTH, Andrew, Steven; The Boc Group PLC, Chertsey Road, Windlesham, Surrey GU20 6HJ (GB)
Priority Data:
0412623.1 07.06.2004 GB
Title (EN) METHOD OF CONTROLLING OPERATION OF A PROCESSING SYSTEM
(FR) PROCEDE DESTINE A COMMANDER LE FONCTIONNEMENT D'UN SYSTEME DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)In a method of controlling operation of a processing system, a host computer, a process tool and a component of an evacuation system, for example an abatement tool, are connected to a system bus. The abatement tool monitors signals transmitted on the system bus between the host computer and the process tool, and signals received directly from the process tool. The abatement tool uses information contained within the monitored signals to generate a signal for the process tool regarding an operating characteristic of the abatement tool. This signal is transmitted either directly or over the system bus to the process tool, which uses the generated signal to control an operating state of the process tool.
(FR)Selon l'invention, dans un procédé destiné à commander le fonctionnement d'un système de traitement, un ordinateur hôte, un outil de traitement et un composant d'un système d'évacuation, tel qu'un outil de réduction, sont connectés à un bus système. L'outil de réduction surveille les signaux émis sur le bus système entre l'ordinateur hôte et l'outil de traitement ainsi que les signaux reçus directement en provenance de l'outil de traitement. L'outil de réduction utilise les informations contenues dans les signaux surveillés pour générer un signal destiné à l'outil de traitement et associé à une caractéristique de fonctionnement de l'outil de réduction. Ce signal est émis directement ou via le bus système en direction de l'outil de traitement, lequel utilise le signal généré pour commander un état de fonctionnement de l'outil de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)