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1. (WO2005121810) DYNAMICALLY BALANCED CAPACITIVE PICK-OFF ACCELEROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/121810    International Application No.:    PCT/US2005/019913
Publication Date: 22.12.2005 International Filing Date: 07.06.2005
Chapter 2 Demand Filed:    05.01.2006    
IPC:
G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01)
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US) (For All Designated States Except US).
MALAMETZ, David, L. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MALAMETZ, David, L.; (US)
Agent: HOIRIIS, David; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Priority Data:
10/863,047 07.06.2004 US
Title (EN) DYNAMICALLY BALANCED CAPACITIVE PICK-OFF ACCELEROMETER
(FR) ACCELEROMETRE A CAPTEUR CAPACITIF AYANT UN EQUILIBRAGE DYNAMIQUE
Abstract: front page image
(EN)A Micro Electro-Mechanical System (MEMS) acceleration sensing device formed of a silicon substrate having a substantially planar surface; a pendulous sensing element having a substantially planar surface suspended in close proximity to the substrate planar surface; a flexure suspending the sensing element for motion relative to the substrate planar surface, the flexure having a both static geometric centerline and a dynamic centerline that is offset from the static geometric centerline; and a metal electrode positioned on the substrate surface for forming a capacitor with the pendulous sensing element, the metal electrode being positioned as a function of the dynamic centerline of the flexure.
(FR)L'invention porte sur un capteur d'accélération d'un système microélectromécanique (MEMS) constitué d'un substrat de silicium présentant une surface sensiblement plane; un élément de détection pendulaire ayant une surface sensiblement plane est suspendu tout à proximité de la surface sensiblement plane; un élément flexible maintenant en suspension l'élément de détection de sorte que celui-ci se déplace par rapport à la surface plane du substrat, l'élément flexible ayant à la fois une ligne centrale géométrique statique et une ligne centrale dynamique décalée de la ligne centrale géométrique statique; et une électrode métallique positionnée sur la surface du substrat de façon à former un condensateur pourvu de l'élément de détection pendulaire, l'électrode métallique étant positionnée en fonction de la ligne centrale dynamique de l'élément flexible.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)