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1. (WO2005121739) IMAGE SENSOR TEST EQUIPMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2005/121739 International Application No.: PCT/JP2004/007971
Publication Date: 22.12.2005 International Filing Date: 08.06.2004
IPC:
G01M 11/00 (2006.01) ,G01R 31/26 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
M
TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11
Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31
Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26
Testing of individual semiconductor devices
Applicants: KIKUCHI, Hiroyuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
SHINHAMA, Shuichi[JP/JP]; JP (UsOnly)
ADVANTEST CORPORATION[JP/JP]; 32-1, Asahicho 1-chome Nerima-ku, Tokyo 1790071, JP (AllExceptUS)
Inventors: KIKUCHI, Hiroyuki; JP
SHINHAMA, Shuichi; JP
Agent: MAEDA, Hitoshi; Maeda & Nishide 2F, Tokyodo Jinboucho 3rd Bldg. 1-17, Kandajinboucho 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 101-0051, JP
Priority Data:
Title (EN) IMAGE SENSOR TEST EQUIPMENT
(FR) ÉQUIPEMENT DE TEST DE CAPTEUR D’IMAGE
(JA) イメージセンサ用試験装置
Abstract:
(EN) An image sensor test equipment (10) performs test of the optical characteristics of an image sensor by bringing the I/O terminal of the image sensor into contact with the contact part (61) of a test head (60) and inputting an electrical signal from the contact part (61) of the test head (60) to the I/O terminal of the image sensor or from the I/O terminal of the image sensor to the contact part (61) of the test head (60) while irradiating the light receiving surface of the image sensor with light from a light source unit (80). The image sensor test equipment comprises a loader inverter (32) for inverting the image sensor carried into a supply tray stocker (21) while directing the light receiving surface upward, a contact arm (43) for moving the image sensor while grasping the back surface of the image sensor on the side opposite to the light receiving surface and bringing the image sensor into contact with the contact part (61) of the test head (60) while directing the light receiving surface downward, and an unloader inverter for inverting the tested image sensor and carrying it out.
(FR) Cet équipement de test de capteur d’image (10) effectue le test des caractéristiques optiques d’un capteur d’image en mettant la borne d’E/S du capteur d’image en contact avec la partie de contact (61) d’une tête de test (60) et en entrant un signal électrique de la partie de contact (61) de la tête de test (60) dans la borne d’E/S du capteur d’image ou de la borne d’E/S du capteur d’image dans la partie de contact (61) de la tête de test (60) tout en irradiant la surface de réception de lumière du capteur d’image de lumière d’une unité de source lumineuse (80). L’équipement de test de capteur d’image comprend un inverseur chargeur (32) pour inverser le capteur d’image transporté dans un stockeur de bacs d’approvisionnement (21) tout en dirigeant vers le haut la surface de réception de lumière, un bras de contact (43) pour déplacer le capteur d’image tout en saisissant la surface arrière du capteur d’image au côté opposé à la surface de réception de lumière et mettre le capteur d’image en contact avec la partie de contact (61) de la tête de test (60) tout en dirigeant vers le bas la surface de réception de lumière et un inverseur déchargeur pour inverser le capteur d’image testé et le transporter vers l’extérieur.
(JA)  イメージセンサの入出力端子をテストヘッド(60)のコンタクト部(61)に接触させ、イメージセンサの受光面に光源装置(80)から光を照射しながらテストヘッド(60)のコンタクト部(61)からイメージセンサの入出力端子に電気信号を入出力することにより、イメージセンサに対して光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置(10)は、受光面が上方を向いた姿勢で供給トレイ用ストッカ(21)に搬入されたイメージセンサを反転させるローダ用反転装置(32)と、イメージセンサの受光面とは反対側の背面を把持して、イメージセンサを移動させ、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサをテストヘッド(60)のコンタクト部(61)に接触させるコンタクトアーム(43)と、試験済みのイメージセンサを反転させて搬出するアンローダ用反転装置と、を備えている。                                  
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)