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1. (WO2005114101) METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2005/114101 International Application No.: PCT/EP2004/005194
Publication Date: 01.12.2005 International Filing Date: 14.05.2004
IPC:
G01B 11/24 (2006.01) ,B24B 13/015 (2006.01) ,B24B 49/12 (2006.01)
Applicants: ARNOLD, Ralf[DE/DE]; DE (UsOnly)
DÖRBAND, Bernd[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHILLKE, Frank[DE/DE]; DE (UsOnly)
BEDER, Susanne[DE/DE]; DE (UsOnly)
CARL ZEISS SMT AG[DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
Inventors: ARNOLD, Ralf; DE
DÖRBAND, Bernd; DE
SCHILLKE, Frank; DE
BEDER, Susanne; DE
Agent: SCHORR, Frank ; Augustenstrasse 46 80333 München, DE
Priority Data:
Title (EN) METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL ELEMENT
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'ELEMENT OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN) A method of manufacturing an optical element (5) includes testing the optical element (5) by using an interferometer optics (1) generating a beam (13) of measuring light illuminating only a sub-aperture of the tested optical element (5). The interferometer optics (1) comprises a hologram. Results of the sub-aperture measurement are stitched together to obtain a measuring result with respect to the full surface of the optical element (5). Further, a method of calibrating the interferometer optics (1) includes performing an interferometric measurement using a calibrating optics having a hologram covering only a sub-aperture of the full cross section of the beam (13) of measuring light generated by the interferometer optics (1) and stitching together the sub-aperture measurements to obtain a result indicative for the full cross section of the interferometer optics (1).
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'élément optique (5) : essai de l'élément (5) par optique d'interférométrie (1) qui produit un faisceau (13) de lumière de mesure éclairant uniquement une sous-ouverture de l'élément testé (5). L'optique (1) comporte un hologramme. Les résultats de mesure sont rattachés entre eux, ce qui donne un résultat de mesure par rapport à la pleine surface de l'élément (5). On décrit enfin un procédé d'étalonnage de l'optique (1) : mesure d'interférométrie avec une optique d'étalonnage ayant un hologramme qui couvre seulement une sous-ouverture de la pleine section transversale du faisceau (13) de lumière de mesure produit par l'optique (1) et rattachement des résultats entre eux pour donner un résultat indicateur couvrant la pleine section transversale de l'optique (1).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)