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1. (WO2005114093) METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY SCANNING A SAMPLE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/114093    International Application No.:    PCT/EP2005/003714
Publication Date: 01.12.2005 International Filing Date: 08.04.2005
IPC:
G01B 7/34 (2006.01), G01N 27/00 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G02B 21/26 (2006.01), G12B 21/22 (2006.01), G01N 23/04 (2006.01), G21K 7/00 (2006.01), G06T 3/40 (2006.01), G06T 11/60 (2006.01), H04N 1/195 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS SOFT IMAGING SOLUTIONS GMBH [--/DE]; Johann-Krane-Weg 39, 48149 Münster (DE) (For All Designated States Except US).
TÜMPNER, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: TÜMPNER, Jürgen; (DE)
Agent: NUNNENKAMP, Jörg; Andrejewski, Honke & Sozien, Theaterplatz 3, 45127 Essen (DE)
Priority Data:
10 2004 024 810.9 17.05.2004 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN ABTASTUNG EINER PROBE
(EN) METHOD AND DEVICE FOR OPTICALLY SCANNING A SAMPLE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR EXPLORER OPTIQUEMENT UN ECHANTILLON
Abstract: front page image
(DE)Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe (1). Zum grundsätzlichen Aufbau gehören wenigstens eine Verstelleinheit (2, 3) sowie zumindest eine Abtasteinrichtung (4, 5). Die Probe (1) wird mittels der von einer Steueranlage (6) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt, oder umgekehrt. Erfindungsgemäss werden zum mechanischen Spielausgleich Korrekturwerte aufgenommen sowie in der Steueranlage (6) abgelegt und beim Steilvorgang berücksichtigt.
(EN)The invention relates to a method and a device for optically scanning a sample (1). The basic structure of said device comprises at least one adjustment unit (2, 3) and at least one scanning device (4, 5). The sample (1) is displaced in relation to the scanning device (4, 5) by means of the adjustment unit (2, 3) impinged upon by a control system (6), or vice versa. According to the invention, adjustment values for the mechanical compensation of play are incorporated, filed in the control system (6) and taken into consideration during adjustment.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour explorer optiquement un échantillon (1). La structure de base du dispositif selon l'invention comprend au moins une unité de déplacement (2, 3) et au moins un dispositif d'exploration (4, 5). L'échantillon (1) est déplacé par rapport au dispositif d'exploration (4, 5) par l'unité de déplacement (2, 3) qui est soumise à l'action d'une installation de commande (6), ou vice versa. Selon l'invention, pour effectuer une compensation de jeu mécanique, des valeurs de correction sont acquises, entrées dans l'installation de commande (6) et prises en compte lors du processus de déplacement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)