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1. (WO2005111689) CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE WITH INTERMEDIATE IMAGES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2005/111689 International Application No.: PCT/EP2005/005250
Publication Date: 24.11.2005 International Filing Date: 13.05.2005
IPC:
G02B 17/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
17
Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
08
Catadioptric systems
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
DODOC, Aurelian [RO/DE]; DE (UsOnly)
ULRICH, Wilhelm [DE/DE]; DE (UsOnly)
EPPLE, Alexander [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
DODOC, Aurelian; DE
ULRICH, Wilhelm; DE
EPPLE, Alexander; DE
Agent:
RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER UND PARTNER; Kronenstrasse 30 70174 Stuttgart, DE
Priority Data:
60/571,53317.05.2004US
Title (EN) CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE WITH INTERMEDIATE IMAGES
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC IMAGES INTERMEDIAIRES
Abstract:
(EN) A catadioptric projection objective for imaging of a pattern, which is arranged on the object plane of the projection objective, on the image plane of the projection objective has a first objective part for imaging of an object field to form a first real intermediate image, a second objective part for production of a second real intermediate image using the radiation coming from the first objective part; and a third objective part for imaging of the second real intermediate image on the image plane. The second objective part is a catadioptric objective part with a concave mirror. A first folding mirror for deflection of the radiation coming from the object plane in the direction of the concave mirror and a second folding mirror for deflection of the radiation coming from the concave mirror in the direction of the image plane are provided. A field lens with a positive refractive power is arranged between the first intermediate image and/or the first folding mirror and the concave mirror, in an area close to the field of the first intermediate image.
(FR) L'invention concerne un objectif de projection catadioptrique permettant d'imager un motif, lequel est placé sur le plan objet de l'objectif de projection, possède sur le plan image de l'objectif de projection une première partie objective destinée à imager un champ objet pour former une première image intermédiaire réelle, une deuxième partie objective destinée à produire une deuxième image intermédiaire réelle au moyen du rayonnement provenant de la première partie objective, et une troisième partie objective destinée à imager la deuxième image intermédiaire réelle sur le plan image. La deuxième partie objective est une partie objective catadioptrique avec un miroir concave. Un premier miroir de renvoi pour la déviation du rayonnement provenant du plan objet dans la direction du miroir concave et un deuxième miroir de renvoi pour la déviation du rayonnement provenant du miroir concave dans la direction du plan image sont mis en place. Une lentille de champ avec une puissance de réfraction positive est placée entre la première image intermédiaire et/ou le premier miroir de renvoi et le miroir concave, dans une zone proche du champ de la première image intermédiaire.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
KR1020070017414EP1751601JP2007538277US20090034061CN1985206JP2014044445
KR1020120101116KR1020130043238KR1020140043485KR1020140138350KR1020150100941JP2016014900
JP2016027416KR1020160085375JP2017102481KR1020170028451KR1020170129271JP2018010311
KR1020180078354