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1. (WO2005109482) GAS SUPPLY INTEGRATION UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/109482    International Application No.:    PCT/JP2005/007308
Publication Date: 17.11.2005 International Filing Date: 15.04.2005
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), F17D 1/04 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Applicants: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKEICHI, Akihiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AOYAMA, Tatsuhito [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIWA, Toshikazu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
INOUE, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKEICHI, Akihiro; (JP).
AOYAMA, Tatsuhito; (JP).
MIWA, Toshikazu; (JP).
INOUE, Takashi; (JP)
Agent: COSMOS PATENT OFFICE; Annex 2nd Floor, Nagoya Center Building 2-22, Nishiki 2-chome, Naka-ku Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
Priority Data:
2004-140039 10.05.2004 JP
Title (EN) GAS SUPPLY INTEGRATION UNIT
(FR) UNITÉ D'INTÉGRATION D'ALIMENTATION DE GAZ
(JA) ガス供給集積ユニット
Abstract: front page image
(EN)A gas supply integration unit for supplying a process gas, which is liable to be liquefied at room temperatures and pressures, while heating and insulating the process gas. The unit comprises a plurality of gas units. Each gas unit is formed of a first manual valve (22) installed in an outlet flow passage, an air operated valve (26) installed at a position where the first manual valve (22) is allowed to communicate with a process gas common flow passage (44), and a second manual valve (25) installed at a position where the first manual valve (22) is allowed to communicate with a purge gas common flow passage (43) which are integrally connected in series to each other through flow passage blocks (46) and unit fixing plates (15). The unit also comprises holding members (18) formed in a U-shape in cross section and to which the flow passage blocks (46) and the unit fixing plates (15) are fitted and plane heaters (16) fixedly held between the holding members (18), the flow passage blocks (46), and the unit fixing plates (15).
(FR)Une unité d'intégration d'alimentation de gaz pour fournir un gaz de procédé susceptible d'être liquéfié aux températures et pressions ambiantes tout en chauffant et isolant le gaz de procédé. L'unité comporte plusieurs unités de gaz. Chaque unité de gaz se compose d'un premier robinet manuel (22) installé dans une voie de sortie, un robinet à commande pneumatique (26) installé à une position où le premier robinet manuel (22) est autorisé à communiquer avec une voie commune de gaz de procédé (44), et un deuxième robinet manuel (25) installé à une position où le premier robinet manuel (22) est autorisé à communiquer avec une voie commune de gaz de purge (43) ceux-ci étant reliés en série intégralement les uns aux autres par des blocs de voie de circulation (46) et des plaques de fixation d'unités (15). L'unité comporte aussi des organes de maintien (18) à coupe transversale en U et auxquels les blocs de voie de circulation (46) et les plaques de fixation d'unité (15) sont installés et des radiateurs plats (16) tenus de manière fixe entre les organes de maintien (18), les blocs de voie de circulation (46) et les plaques de fixation de l'unité (15).
(JA) 常温常圧では液化しやすいプロセスガスを加熱保温しながら供給するためのガス供給集積ユニットを提供するために、出口流路に設けられた第1手動弁22と、第1手動弁22とプロセスガス共通流路44とを連通する位置に設けられたエアオペレート弁26と、第1手動弁22とパージガス共通流路43とを連通する位置に設けられた第2手動弁25とが流路ブロック46及びユニット固定板15により直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、断面がコの字型であって、流路ブロック46及びユニット固定板15が嵌合される保持部材18と、保持部材18と流路ブロック46及びユニット固定板15との間に挟まれて固定される平面ヒータ16とを設ける。      
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)