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1. (WO2005108946) PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/108946    International Application No.:    PCT/JP2005/008537
Publication Date: 17.11.2005 International Filing Date: 10.05.2005
IPC:
G01L 9/12 (2006.01)
Applicants: Toyo Communication Equipment Co., Ltd. [JP/JP]; 484, Tsukagoshi 3-chome, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2128513 (JP) (For All Designated States Except US).
WATANABE, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: WATANABE, Jun; (JP)
Agent: SUZUKI, Hitoshi; DSK Jouhou Center Bldg. 2nd Floor 6-5, Arai 2-chome Nakano-ku, Tokyo 165-0026 (JP)
Priority Data:
2004-142958 12.05.2004 JP
Title (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
Abstract: front page image
(EN)A pressure sensor in which the linearity of pressure sensitivity characteristics is enhanced by constructing a diaphragm such that it bends and deforms quickly when pressure to be measured is low and bends and deforms gradually when the pressure is high. The pressure sensor comprises a lower electrode film (4) and a dielectric film (5) sequentially layered on a surface of a base (3), a detection piece (10) having a thin wall part (11) at a position opposite the dielectric film and secured to the surface of the base, and an upper electrode film (13) formed at at least a part of the thin wall part and positioned so as to face the lower electrode film. An airtight space S of a very small gap is provided between the lower surface of the detection piece and the dielectric film, and the thickness of the thin wall part of the detection piece is not uniform over the entire surface.
(FR)Capteur de pression dont la linéarité des caractéristiques de sensibilité à la pression a été améliorée en construisant un diaphragme tel qu’il se plie et se déforme rapidement lorsque la pression à mesurer est faible et se plie et se déforme graduellement lorsque la pression à mesurer est forte. Le capteur de pression comprend un film d’électrode inférieure (4) et un film diélectrique (5) empilés en couches séquentielles sur une surface d’une base (3), une pièce de détection (10) possédant une partie de paroi mince (11) en une position à l’opposé au film diélectrique et fixée à la surface de la base, et un film d’électrode supérieure (13) formé à au moins une partie de la partie de paroi mince et positionné de façon à faire face au film d’électrode inférieure. Un espace étanche à l’air S d’une fente très petite existe entre la surface inférieure de la pièce de détection et le film diélectrique, et l’épaisseur de la partie de paroi mince de la pièce de détection n’est pas uniforme sur la surface entière.
(JA) 測定する圧力が小さい段階では速やかに撓み変形する一方で、高圧力の状態では徐々に撓むようにダイヤフラムを構成することによって圧力感度特性の直線性を向上させた圧力センサを提供する。基台3の面上に順次積層された下部電極膜4及び誘電体膜5と、誘電体膜と対向する位置に薄肉部11を備えるとともに基台の面上に固定された検出片10と、薄肉部の少なくとも一部に形成され且つ下部電極膜と対向する位置関係にある上部電極膜13と、を備え、検出片の下面と該誘電体膜との間に微小ギャップの気密空間Sを備えた圧力センサにおいて、検出片の薄肉部の厚さは全面に亘って均一でない。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)