WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2005106962) PRESSURE SENSOR DEVICE AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/106962    International Application No.:    PCT/US2005/012282
Publication Date: 10.11.2005 International Filing Date: 11.04.2005
IPC:
H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: CELERITY, INC. [US/US]; 200 C. Parker Drive, Austin, TX 78728 (US) (For All Designated States Except US).
MAI, Hei [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MAI, Hei; (US)
Agent: SKRIVANEK, Robert, A., Jr.; Lowrie, Lando & Anastasi, LLP, Riverfront Office Park, One Main Street, 11th Floor, Cambridge, MA 02142 (US)
Priority Data:
10/827,026 19.04.2004 US
Title (EN) PRESSURE SENSOR DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE DETECTION DE PRESSION
Abstract: front page image
(EN)Embodiments of the present invention provide a diaphragm pressure gauge (100) with an interface printed circuit board ('PCB') (220) contained in a reference pressure chamber (205) of the diaphragm pressure gauge (100) for receiving signals from one or more sensing elements (215) in the reference pressure chamber. The sensing elements (215) can comprise, for example, piezoelectric strain gauges, piezoresistive strain gauges, capacitor elements or other elements used in determining the deflection in the diaphragm (210). The interface PCB (220) can be configured to connect the sensing elements (215) to pass-through electrical connections (240) in the housing of the reference pressure chamber (205). Thus, signals can be communicated from the sensing elements (215), through the interface board and out of the reference pressure chamber (205) via the pass-through electrical connections (240).
(FR)Des modes de réalisation de la présente invention se rapportent à un capteur de pression à membrane comprenant une carte de circuits imprimés interface ('PCB') contenue dans une chambre de pression de référence du capteur de pression à membrane, destinée à recevoir des signaux issus d'un ou plusieurs éléments de détection dans la chambre de pression de référence. Les éléments de détection peuvent comprendre, par exemple, des capteurs de contrainte piézo-électriques, des capteurs de contrainte piezo-résistifs, des éléments condensateurs ou d'autres éléments utilisés pour déterminer la déflexion de la membrane. La PCB interface peut être conçue pour connecter les éléments de détection à des connexions électriques directes dans le boîtier de la chambre de pression de référence. Ainsi, des signaux peuvent être transmis par les éléments de détection, via la carte interface, et vers l'extérieur de la chambre de pression de référence via les connexions électriques directes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)