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1. (WO2005106069) METHOD AND DEVICE FOR THE CONTINUOUS COATING OF FLAT SUBSTRATES WITH OPTICALLY ACTIVE LAYER SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/106069    International Application No.:    PCT/DE2005/000857
Publication Date: 10.11.2005 International Filing Date: 02.05.2005
IPC:
C03C 17/00 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
Applicants: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH [DE/DE]; Plattleite 19/29, 01324 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
SCHULZE, Dietmar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LIST, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SCHULZE, Dietmar; (DE).
LIST, Matthias; (DE)
Agent: ADLER, Peter; Patent- und Rechtsanwälte Lippert, Stachow & Partner, Krenkelstr. 3, 01309 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2004 021 734.3 30.04.2004 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KONTINUIERLICHEN BESCHICHTUNG FLACHER SUBSTRATE MIT OPTISCH AKTIVEN SCHICHTSYSTEMEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR THE CONTINUOUS COATING OF FLAT SUBSTRATES WITH OPTICALLY ACTIVE LAYER SYSTEMS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR REVETIR EN CONTINU DES SUBSTRATS PLATS AU MOYEN DE SYSTEMES DE COUCHES OPTIQUEMENT ACTIFS
Abstract: front page image
(DE)Der Erfindung, die eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung flacher Substrate mit optisch aktiven Schichtsystemen bestehend aus mehreren Teilschichten betrifft, die in einzelne Beschichtungskompartments mit Magnetrons aufgeteilt ist, die ihrerseits mit Targets versehen sind, und die Beschichtungskompartments mit Vakuumpumpen zu Ihrer Evakuierung versehen sind, voneinander getrennt sind, und ein entsprechendes Verfahren betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, den Aufwand für die der Gasseparationen zwischen Pumpkompartments zu reduzieren, um damit sowohl den Herstelleraufwand als auch den Aufwand für den Betreiber von längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlagen zu minimieren. Dies wird dadurch gelöst, dass zur Abscheidung von mindestens zwei aufeinander liegenden Teilschichten eines Schichtsystems die Targets auf den Magnetrons der entsprechend hintereinander angeordneten Beschichtungskompartments aus dem Material der zu erzeugenden Schicht bestehen und beide Beschichtungskompartments (8; 13) unter Vermeidung einer zwischenliegenden Gasschleuse über einen Strömungswiderstand miteinander verbunden sind.
(EN)The invention relates to a device and corresponding method for the continuous coating of flat substrates with optically active layer systems, comprising multiple partial layers, divided into individual coating compartments with magnetrons, provided with targets, said coating compartments being provided with vacuum pumps for the evacuation thereof separately from each other. The aim of the invention is to reduce to the complexity of the gas separation between pump compartments and hence reduce the production cost and the complexity for the operator of vacuum coating plants with a long layout. Said aim is achieved, whereby, on deposition of at least two partial layers of a layer system, lying one on the other, the targets on the magnetrons for the correspondingly serially arranged coating compartments are made from the material of the layer for generation and both coating compartments (8; 13)are connected to each other by means of a flow resistance with the omission of an intermediate gas lock.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé correspondant pour revêtir en continu des substrats plats au moyen de systèmes de couches optiquement actifs constitués de plusieurs couches partielles, ledit dispositif étant divisé en compartiments d'enduction individuels comportant des magnétrons pourvus de cibles. Les compartiments d'enduction sont séparés les uns des autres et comportent des pompes à vide servant à les mettre sous vide. L'objectif de l'invention est de faciliter la séparation des gaz entre les compartiments de pompes et par conséquent de réduire les coûts aussi bien pour le fabricant que pour l'exploitant d'installations longitudinales de dépôt sous vide. A cet effet, pour le dépôt d'au moins deux couches partielles superposées d'un système de couches, les cibles situées sur les magnétrons des compartiments d'enduction placés de manière appropriée les uns derrière les autres sont constituées de la même matière que la couche à produire. De plus, les deux compartiments d'enduction (8; 13) sont raccordés par intermédiaire d'un élément de résistance à l'écoulement de façon à éviter la formation d'un sas de gaz intermédiaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)