WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2005103322) DEVICE FOR COATING HEAVY STRIPS IN A VACUUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/103322    International Application No.:    PCT/EP2005/004242
Publication Date: 03.11.2005 International Filing Date: 20.04.2005
IPC:
C23C 14/56 (2006.01)
Applicants: LAZAROV, Peter [DE/DE]; (DE)
Inventors: LAZAROV, Peter; (DE)
Agent: SCHÜSSLER, Andrea; Huber & Schüssler, Truderinger Strasse 246, 81825 München (DE)
Priority Data:
10 2004 019 062.3 20.04.2004 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SCHWEREN BÄNDERN IM VAKUUM
(EN) DEVICE FOR COATING HEAVY STRIPS IN A VACUUM
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT DE REVETIR DE LOURDES BANDES SOUS VIDE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung offenbart eine Vorrichtung, die einen raschen Substratwechsel ermöglicht und sicherstellt, dass der Wickelmechanismus (17) ungestört von Verformungen der Vakuumkammer (3) ist. Dies wird durch ein Tragrohr (1) erreicht, welches durch die Tür (2) der Vakuumkammer (3) verläuft. Das Gewicht vom Tür (2) und Rohr (1) wird durch einen Fahrwagen aufgenommen. Die Vakuumdichtung zwischen Rohr (1) und Tür (2) ist mittels mindestens eines Dichtrings (15) ausgestaltet. Am Tragrohr (1), ohne festen Verbund zur Kammer (3) sind zwei Lagerschilde (4,5) angebracht an denen die Wickelwalzen (6, 8 und 10 bis 12), gelagert werden derart, dass die Walzenachsen parallel zum Tragrohr (1) sind.
(EN)The invention relates to a device that allows a rapid change of substrate and safeguards that the winding mechanism (17) remains unaffected by deformations of the vacuum chamber (3). For this purpose, a supporting tube (1) is used which extends through the door (2) of the vacuum chamber (3). The weight of the door (2) and the tube (1) is received by a carriage. The vacuum seal between the tube (1) and the door (2) is configured as at least one sealing ring (15). Two bearing brackets (4, 5) are fastened on the supporting tube (1), without being firmly fixed to the chamber (3). The winding rollers (6, 8 and 10 to 12) are received on these bearing brackets in such a manner that the roller axes lie in parallel to the supporting tube (1).
(FR)L'invention concerne un dispositif qui permet un rapide changement de substrat et empêche que le mécanisme d'enroulement (17) ne soit endommagné par les déformations de la chambre à vide (3). Cela est possible grâce à un tube support (1) qui traverse la porte (2) de la chambre à vide (3). Le poids de la porte (2) et du tube (1) est absorbé par un chariot. Le joint hermétique situé entre le tube (1) et la porte (2) est assuré par au moins une bague d'étanchéité (15). Deux flasque palier (4,5) sont montées sur le tube support (1) sans liaison rigide avec la chambre (3) et les cylindres d'enroulement (6, 8 et 10 à 12) sont montés sur ces flasques palier de telle façon que les axes de cylindres soient parallèles au tube support (1).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)