(EN) An in-situ plasma measurement probe comprises a primary substrate, such as a silicon wafer, with sensor devices disposed about the surface of the probe. An electronics module contains electronic components or other elements of the diagnostic probe that require isolation and shielding from the plasma environment. The electronics module is disposed upon the probe substrate and electrically connected to the remote sensor devices through one or more electrical interconnection layers disposed upon the substrate. By integrating and modularizing the electronic components of a sensor probe, the probe design may be optimized for cost effective production techniques while ensuring mechanical, chemical, and thermal compatibility with the wafer or other carrying substrate and the environment to which it is exposed.
(FR) Une sonde de mesure de plasma in situ comprend un substrat principal, tel qu'une plaquette de silicium, avec des dispositifs capteurs placés autour de la surface de la sonde. Un module d'éléments électroniques contient des composants électroniques et d'autres éléments de cette sonde diagnostique qui nécessitent une isolation et une protection de l'environnement de plasma. Ce module d'éléments électroniques est placé sur le substrat de sonde et connecté électriquement aux dispositifs capteurs distants via une ou plusieurs couches d'interconnexion électrique placées sur le substrat. Par l'intégration et la modularisation des composants électroniques d'une sonde de détection, cette conception de sonde peut être optimisée pour des techniques de production rentables tout en assurant une compatibilité mécanique, chimique et thermique avec la plaquette ou avec un autre substrat porteur et avec l'environnement auquel elle est exposée.