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1. (WO2005069360) TREATMENT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/069360    International Application No.:    PCT/JP2005/000395
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 14.01.2005
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
AMIKURA, Manabu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: AMIKURA, Manabu; (JP)
Agent: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2004-009505 16.01.2004 JP
Title (EN) TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT
(JA) 処理装置
Abstract: front page image
(EN)A showerhead structure (26) has a showerhead body (78) of a one-piece structure. The showerhead body (78) is formed as a whole in a cup shape, and has a bottom wall (78A) in which gas jetting holes (30A, 30B) are formed and a side wall (78B) rising from the peripheral edge of the bottom wall. Gas diffusion chamber partition plates (82A-82C) are received in the showerhead body (78). A through-hole is provided in a head installation frame body (76) installed at a ceiling section of a treatment container (24), an upper section of the side wall (78B) of the showerhead body (78) is inserted in the through-hole, and this causes a part of the side wall (78B) to be exposed to the outside. A cooling mechanism (84) is installed on an upper end section of the side wall (78B). As a result, thermal conductivity between the cooling mechanism (84) and the bottom wall (78A) is improved, enabling the temperature of the bottom wall (78A) to be regulated to an appropriate level to prevent undesired adhesion of a film to the bottom wall (78A).
(FR)Selon l'invention, une structure de pomme de douche (26) présente un corps de pomme de douche (78) d'une structure en une seule pièce. Ledit corps de pomme de douche (78) est constitué entièrement sous forme de coupe, et il présente une paroi inférieure (78A), dans laquelle des trous de giclement de gaz (30A, 30B) sont formés, et une paroi latérale (78B) s'élevant du bord périphérique de la paroi inférieure. Des plaques de séparation de chambre de diffusion de gaz (82A-82C) sont logées dans le corps de la pomme de douche (78). Un trou traversant se trouve dans un corps de cadre d'installation de tête (76) placé au niveau d'une section de plafond d'un contenant de traitement (24), une section supérieure de la paroi latérale (78B) du corps de pomme de douche (78) est introduite dans le trou traversant et ceci provoque l'exposition d'une partie de la paroi latérale (78B) vers l'extérieur. Un mécanisme de refroidissement (84) est installé sur une section d'extrémité supérieure de la paroi latérale (78B). Par conséquent, la conductivité thermique entre le mécanisme de refroidissement (84) et la paroi inférieure (78A) est améliorée, la température de la paroi inférieure (78A) peut ainsi être régulée à un niveau approprié afin de prévenir une adhésion non souhaitée d'un film sur la paroi inférieure (78A).
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)