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1. (WO2005069320) THIN FILM CAPACITOR, MANUFACTURING METHOD OF THE THIN FILM CAPACITOR, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND ELECTRONIC DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/069320    International Application No.:    PCT/JP2004/019002
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 20.12.2004
IPC:
H01G 4/33 (2006.01), H01L 27/01 (2006.01), H05K 1/16 (2006.01), H05K 3/46 (2006.01)
Applicants: Murata Manufacturing Co., LTD [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (For All Designated States Except US).
NOMURA, Masanobu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NOMURA, Masanobu; (JP)
Agent: KUNIHIRO, Yasutoshi; 10F, Katokichi Shinosaka Bldg. 14-10, Nishinakajima 5-chome Yodogawa-ku, Osaka-shi Osaka 532-0011 (JP)
Priority Data:
2004-010464 19.01.2004 JP
Title (EN) THIN FILM CAPACITOR, MANUFACTURING METHOD OF THE THIN FILM CAPACITOR, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) CONDENSATEUR A FILM MINCE, METHODE DE FABRICATION DE CE CONDENSATEUR A FILM MINCE, METHODE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF ELECTRONIQUE ET DISPOSITIF ELECTRONIQUE ASSOCIE
(JA) 薄膜キャパシタ、該薄膜キャパシタの製造方法、及び電子装置の製造方法、並びに電子装置
Abstract: front page image
(EN)A thin film capacitor includes: a first electrode layer having a first opposing electrode (8a) having a surface formed in a flat smooth state and a first draw-out electrode (8b) electrically insulated from the first opposing electrode (8a); a dielectric film (10) having a flat and smooth upper surface and a lower surface formed on the first opposing electrode (8a); and a second electrode layer having a second opposing electrode (11a) formed to oppose to the first opposing electrode (8a) so as to cover at least a part of the dielectric film (10) and electrically connected to the first draw-out electrode (8b), and a second draw-out electrode (11b) electrically insulated from the second opposing electrode (11a) and electrically connected to the first opposing electrode (8a). A support substrate (3) is detachably attached to the lower surface of the first electrode via a resist film (4) and a sacrifice layer (5). Thus, it is possible to obtain a thin film capacitor capable of reducing the size and cost as well as improving the quality and production yield.
(FR)L'invention concerne un condensateur à film mince comprenant: une première couche d'électrode présentant une électrode présentant une première électrode d'opposition (8a) présentant une surface formée sur un état lisse et plat et une première électrode de déchargement (8b) électriquement isolée de la première électrode d'opposition (8a); un film diélectrique (10) présentant une surface supérieure plane et lisse et une surface inférieure formée sur la première électrode d'opposition (8a); et une seconde couche d'électrode présentant une seconde électrode d'opposition (11a) formée pour s'opposer à la première électrode d'opposition (8a), de sorte à couvrir au moins une partie du film diélectrique (10) et électriquement reliée à la première électrode de déchargement (8b), et une seconde électrode de déchargement (11b) électriquement isolée de la seconde électrode d'opposition (11a) et électriquement reliée à la première électrode d'opposition (8a). Un substrat de support (3) est fixé de manière détachable à la surface inférieure de la première électrode par un film de résist (4) et par une couche sacrificielle (5). Ainsi, il est possible d'obtenir un condensateur à film mince permettant de réduire la taille et les coûts, ainsi que d'améliorer la qualité et le rendement.
(JA) 本発明の薄膜キャパシタは、表面が平滑状に形成された第1の対向電極8aと、該第1の対向電極8aと電気的に絶縁された第1の引出電極8bとを備えた第1の電極層と、第1の対向電極8a上に形成された上面及び下面が平滑状の誘電体膜10と、誘電体膜10の少なくとも一部を覆うように第1の対向電極8aと対向状に形成されると共に第1の引出電極8bと電気的に接続された第2の対向電極11aと、第2の対向電極11aと電気的に絶縁されると共に第1の対向電極8aと電気的に接続された第2の引出電極11bとを備えた第2の電極層とを有し、第1の電極層の下面にはレジスト膜4及び犠牲層5を介して支持基板3が離脱可能に接合されている。これにより、低コストでより小型化され、しかも品質が改善されて製品歩留まりの向上を図ることができる薄膜キャパシタを得ることができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)