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1. (WO2005068990) METHODS AND SYSTEM FOR CAPACITIVE BALANCING OF RELATIVE HUMIDITY SENSORS HAVING INTEGRATED SIGNAL CONDITIONING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/068990    International Application No.:    PCT/US2003/040742
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 20.12.2003
IPC:
G01D 5/24 (2006.01), G01N 27/22 (2006.01)
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Inventors: DAVIS, Richard, A.; (US).
KIRKPATRICK, Richard, A.; (US).
FOSTER, Ron; (US).
FOOTE, Steve, R.; (US)
Agent: HOIRIIS, David; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Priority Data:
Title (EN) METHODS AND SYSTEM FOR CAPACITIVE BALANCING OF RELATIVE HUMIDITY SENSORS HAVING INTEGRATED SIGNAL CONDITIONING
(FR) PROCEDES ET SYSTEME POUR L'EQUILIBRAGE CAPACITIF DE CAPTEURS D'HUMIDITE RELATIVE A CONDITIONNEMENT DES SIGNAUX INTEGRE
Abstract: front page image
(EN)Methods of and system for balancing the capacitance of a common series capacitive circuit in a semiconductor-based sensor, such as a humidity sensor (400), are described. Relative humidity sensors can provide measurements via a series capacitive circuit including a humidity-sensitive dielectric (430) separating a common top plate (440) and first and second bottom plates (420, 425) associated with a first and second capacitor, Cx1 and Cx2. For proper operation, the common top plate should be in capacitive balance. Capacitive balance is achieved by creating voids (615, 625, 630, 640) in the common top plate (440) of the sensor (400). A system for creating voids includes a precision cutting instrument, a measuring device for enabling the measurement of capacitance of at least one of the common series capacitive circuit, Cx1 and Cx2, and a voltage source for providing a constant voltage to said series capacitive circuit.
(FR)L'invention concerne des procédés et un système pour l'équilibrage de la capacité d'un circuit capacitif série commun monté dans un capteur à semi-conducteur, tel qu'un capteur d'humidité (400). Des capteurs d'humidité relatives peuvent fournir des mesures par l'intermédiaire d'un circuit capacitif série comprenant un diélectrique (430) sensible à l'humidité qui sépare une plaque supérieure (440) commune et des première et seconde plaques de fond (420, 425) qui sont associées à un premier et à un second condensateur (Cx1 et Cx2). Pour qu'un tel capteur puisse fonctionner correctement, la plaque supérieure commune doit être en équilibre capacitif. Cet équilibre capacitif est obtenu par la création de vides (615, 625, 630, 640) dans cette plaque supérieure (440) commune du capteur (400). Un système utilisé pour créer lesdits vides comprend un instrument de coupe de précision, un dispositif de mesure, qui permet de mesurer la capacité d'au moins un des circuits capacitifs série communs (Cx1 et Cx2), ainsi qu'une source de tension, servant à fournir une tension constante au(x) circuit(s) capacitif(s) série.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)