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Pub. No.:    WO/2005/067634    International Application No.:    PCT/US2005/000423
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 06.01.2005
B65G 49/07 (2006.01), C03C 25/68 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01), C23F 1/00 (2006.01)
Applicants: MATTSON TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 47131 Bayside Parkway, Fremont, California 94538 (US) (For All Designated States Except US).
DEVINE, Daniel J. [US/US]; (US) (For US Only).
GEORGE, Rene [US/US]; (US) (For US Only).
PAKULSKI, Ryan, M. [US/US]; (US) (For US Only).
BARKER, David, A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DEVINE, Daniel J.; (US).
GEORGE, Rene; (US).
PAKULSKI, Ryan, M.; (US).
BARKER, David, A.; (US)
Agent: DORITY & MANNING, P.A.; P.O. Box 1449, Greenville, South Carolina 29602 (US)
Priority Data:
60/534,495 06.01.2004 US
Abstract: front page image
(EN)Workpiece processing uses a transfer chamber (12) in cooperation with a process chamber (32). The workpiece (30) is to be heated to a treatment temperature, at a preheating pressure, and subsequently exposed to a plasma at a treatment pressure, which is less than the preheating pressure. The process chamber pressure does not exceed the preheating pressure, yet very rapid pressure increases can be induced in the process chamber in transitioning from the treatment pressure to the preheating pressure. The transfer chamber pressure can be maintained at the treatment pressure, the preheating pressure or raised to a selected pressure to backfill the process chamber to the preheating pressure. A backfill arrangement (54) can selectively induce rapid pressure increases in the process chamber.
(FR)L'invention concerne un traitement de pièce qui fait appel à une chambre de transfert coopérant avec une chambre de traitement. La pièce doit être chauffée à une température de traitement, à une pression de préchauffage, puis exposée à du plasma à une pression de traitement inférieure à la pression de préchauffage. Bien que la pression de la chambre de traitement ne dépasse pas la pression de préchauffage, des hausses de pression très rapides peuvent être induites dans la chambre de traitement pendant la transition entre la pression de traitement et la pression de préchauffage. La pression de chambre de transfert peut être maintenue au niveau de la pression de traitement, de la pression de préchauffage ou élevée au niveau d'une pression choisie afin de remplir la chambre de traitement à la pression de préchauffage. Un système de remplissage peut sélectivement induire des hausses de pression rapides dans la chambre de traitement. Un système de dérivation assure une communication de pression sélective entre la chambre de transfert et la chambre de traitement et peut servir à remplir la chambre de traitement depuis la chambre de transfert.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)