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1. (WO2005067514) METHOD AND SYSTEM FOR RECONSTRUCTING ABERRATED IMAGE PROFILES THROUGH SIMULATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/067514    International Application No.:    PCT/US2004/004854
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 20.02.2004
Chapter 2 Demand Filed:    17.09.2004    
IPC:
G02B 5/32 (2006.01), G02B 7/00 (2006.01)
Applicants: NIKON PRECISION INC. [US/US]; 1399 Shoreway Road, Belmont, CA 94002-4107 (US) (For All Designated States Except US).
SLONAKER, Steven, D. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SLONAKER, Steven, D.; (US)
Agent: GREENBLUM & BERNSTEIN, PLC; 1950 Roland Clarke Place, Reston, VA 20191 (US)
Priority Data:
60/449,514 21.02.2003 US
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR RECONSTRUCTING ABERRATED IMAGE PROFILES THROUGH SIMULATION
(FR) PROCEDE ET SYSTEME POUR RECONSTRUIRE DES PROFILS D'IMAGE A ABERRATION PAR SIMULATION
Abstract: front page image
(EN)A system and method of calculating estimated image profiles. The system and method includesproviding lens characteristic data (500) and performing simulation calculations (505) for various levels of aberration components using the lens characteristic data. A response surface functional relation is built between selected variables of the lens characteristics (510), in particular the lens aberration components (515), and the Image Profile using the simulation calculations. Evaluation is then performed on the arbitrary specified aberration values of a lens in relation to the response surface functional relations (520), to provide a calculated estimate of the Image Profile for the specified aberration values (525). A machine readable medium and exposure apparatus are also provided.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé pour calculer des profils d'image estimés. Ce système et ce procédé consistent à fournir des données caractéristiques d'objectif et à effectuer des calculs de simulation pour divers niveaux de composantes d'aberration en utilisant les données caractéristiques d'objectif. Une relation fonctionnelle de surface de réponse est établie entre des variables sélectionnées des caractéristiques d'objectif, notamment les composantes d'aberration d'objectif, et le profil d'image en utilisant les calculs de simulation. Une évaluation est ensuite réalisée sur les valeurs d'aberration arbitraires définies d'un objectif par rapport aux relations fonctionnelles de surface de réponse, afin d'obtenir une estimation calculée du profil d'image pour les valeurs d'aberration définies. La présente invention concerne également un support lisible par une machine et un appareil d'exposition.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)