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1. (WO2005067379) A TEST DEVICE AND METHOD FOR MEASURING STRENGTH
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/067379    International Application No.:    PCT/IL2005/000030
Publication Date: 28.07.2005 International Filing Date: 09.01.2005
IPC:
G01L 1/04 (2006.01)
Applicants: TECHNION RESEARCH AND DEVELOPMENT FOUNDATION LTD. [IL/IL]; Senate building, Technion City, 32000 Haifa (IL) (For All Designated States Except US).
HIRSHBERG, Arnon [IL/IL]; (IL) (For US Only).
NAFTALI, Matan [IL/IL]; (IL) (For US Only).
ELATA, David [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: HIRSHBERG, Arnon; (IL).
NAFTALI, Matan; (IL).
ELATA, David; (IL)
Agent: MILLER - SIERADZKI, ADVOCATES & PATENT ATTORNEYS; P.O.B 6145, 31061 Haifa (IL)
Priority Data:
60/536,535 15.01.2004 US
Title (EN) A TEST DEVICE AND METHOD FOR MEASURING STRENGTH
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE TEST POUR MESURER LA RESISTANCE
Abstract: front page image
(EN)A method (20) for determining the strength of a body of a MEMS device is discloses. The method comprises: providing a cantilevered beam (22) having a free end and a fixed end fixed to the body, the cantilevered beam protruding from the body (24) of the structural element; and an arched portion of the body (25) having a predetermined curvature stretching away from the fixed end, wherein the predetermined curvature at any point along the arched portion is related to the distance of that point along the arched portion from fixed end of the cantilevered beam; applying force substantially perpendicular to the cantilevered beam, forcing the beam to lean against the arched portion up to failure resulting in breaking of the beam at a certain breaking point; measuring the distance of the breaking point from the fixed end; and determining the force based on the measured distance and predetermined curvature.
(FR)Cette invention se rapporte à un procédé servant à déterminer la résistance d'un corps d'un dispositif MEMS. Ce procédé consiste: à former une tige en porte-à-faux présentant une extrémité libre et une extrémité fixe fixée au corps, cette tige en porte-à-faux s'étendant depuis le corps de l'élément structurel; et une partie arquée du corps ayant une courbure prédéterminée s'étendant depuis l'extrémité fixe, cette courbure prédéterminée à n'importe quel point le long de la partie arquée étant liée à la distance de ce point le long de la partie arquée à partir de l'extrémité fixe de la tige en porte-à-faux; à appliquer une force essentiellement dans le sens perpendiculaire à la tige en porte-à-faux, ce qui force la tige à venir s'appuyer contre la partie arquée avec une contrainte d'affaiblissement qui entraîne la rupture de la tige en un certain point de rupture; à mesure la distance du point de rupture à partir de l'extrémité fixe; et à déterminer la force sur la base de la distance mesurée et de la courbure prédéterminée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)