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1. (WO2005066599) MODIFIED DUAL DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/066599    International Application No.:    PCT/US2004/042759
Publication Date: 21.07.2005 International Filing Date: 20.12.2004
IPC:
G01L 7/08 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07962 (US) (For All Designated States Except US).
WANG, Tzu-Yu [US/US]; (US) (For US Only).
CABUZ, Eugen, I. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: WANG, Tzu-Yu; (US).
CABUZ, Eugen, I.; (US)
Agent: HOIRIIS, David; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Priority Data:
10/748,817 30.12.2003 US
Title (EN) MODIFIED DUAL DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION A DOUBLE DIAPHRAGME MODIFIE
Abstract: front page image
(EN)A device for sensing pressure including a chamber defïning part having a first diaphragm mounted in communication with the sealed chamber defining part, and a second diaphragm electrically insulated from the first, preferably by a spacer. The diaphragms are flexible and have a conductive surface. A sensor chamber is mounted on the ether side of the second diaphragm. It has an opening in communication with a sensing atmosphere. One of the diaphragms includes openings it its surface to permit fluid to flow through the openings and the other diaphragm is solid and responds to change in pressure in the sensor chamber to move away from or toward the one diaphragm. Electrical connections measure capacitance between the diaphragms as a function of the pressure in the sensor chamber.
(FR)La présente invention a trait à un dispositif de détection de pression comportant une portion de délimitation d'enceinte comprenant un premier diaphragme monté en communication avec la portion de délimitation de l'enceinte étanche, et un deuxième diaphragme électriquement isolé du premier, de préférence par une entretoise. Les diaphragmes sont flexibles et présentent une surface conductrice. Une deuxième enceinte de capteur est montée de part et d'autre du deuxième diaphragme. Elle comporte une ouverture en communication avec un milieu de détection. Un des diaphragmes comporte des ouvertures à sa surface pour permettre le passage de fluide à travers les ouvertures et l'autre diaphragme est plein et est sensible à une modification dans la pression dans l'enceinte de capteur pour s'éloigner ou se rapprocher dudit un diaphragme. Des liaisons électriques mesurent la capacité entre les diaphragmes en fonction de la pression dans l'enceinte de capteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)