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1. (WO2005066387) METHOD FOR CLEANING FILM-FORMING APPARATUSES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/066387    International Application No.:    PCT/IB2004/004131
Publication Date: 21.07.2005 International Filing Date: 10.12.2004
IPC:
B08B 7/00 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Applicants: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR/FR]; 75, quai d'Orsay, F-75321 Paris Cedex 07 (FR) (For All Designated States Except US).
GATINEAU, Julien [FR/JP]; (JP) (For US Only).
DUSSARRAT, Christian [FR/JP]; (JP) (For US Only).
YANAGITA, Kazutaka [JP/JP]; (JP) (For US Only).
FUJITA, Tomomi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
GIRARD, Jean-Marc [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: GATINEAU, Julien; (JP).
DUSSARRAT, Christian; (JP).
YANAGITA, Kazutaka; (JP).
FUJITA, Tomomi; (JP).
GIRARD, Jean-Marc; (FR)
Agent: VESIN, Jacques; L'Air Liquide S.A., Direction de la Propriété Intellectuelle, 75, Quai d'Orsay, F-75321 Paris Cedex 07 (FR)
Priority Data:
2003-430763 25.12.2003 JP
Title (EN) METHOD FOR CLEANING FILM-FORMING APPARATUSES
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE NETTOYER DES APPAREILS DE FORMATION DE FILM
Abstract: front page image
(EN)To provide an efficient method for cleaning film-forming apparatuses in order to remove a ruthenium-type deposit residing on a constituent member of a film-forming apparatus after said apparatus has been used to form a film comprising ruthenium or solid ruthenium oxide, wherein at least the surface region of the ruthenium-type deposit comprises solid ruthenium oxide. A ruthenium-type deposit, at least the surface region of which is solid ruthenium oxide, is brought into contact with reducing gas that contains a reducing species comprising hydrogen or hydrogen radical and the solid ruthenium oxide is thereby converted into ruthenium metal. This ruthenium metal is subsequently converted into volatile ruthenium oxide by bringing the ruthenium metal into contact with an oxidizing gas that contains an oxidizing species comprising an oxygenated compound, and this volatile ruthenium oxide is removed from the film-forming apparatus.
(FR)L'invention concerne un procédé efficace permettant de nettoyer des appareils de formation de film afin d'éliminer un dépôt du type ruthénium qui réside sur un élément constituant d'un appareil de formation de film une fois qu'on l'a utilisé pour former un film comprenant un ruthénium ou un oxyde de ruthénium solide, au moins la zone surfacielle du dépôt du type ruthénium comprenant un oxyde de ruthénium solide. Le dépôt du type ruthénium, dont au moins la zone surfacielle est un oxyde de ruthénium solide, est amené en contact avec un gaz de réduction contenant une espèce de réduction qui comprend un hydrogène ou un radical hydrogène, et l'oxyde de ruthénium solide est converti en métal ruthénium. Ledit métal est ensuite converti en un oxyde de ruthénium volatil par mise en contact du métal ruthénium avec un gaz d'oxydation contenant une espèce d'oxydation constituée d'un composé oxygéné, et l'oxyde de ruthénium volatil est retiré de l'appareil de formation de film.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)