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1. (WO2005065417) COLD CATHODE ION GAUGE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2005/065417 International Application No.: PCT/US2004/044070
Publication Date: 21.07.2005 International Filing Date: 17.12.2004
IPC:
G01L 21/30 (2006.01)
Applicants: LIU, Kun[CN/US]; US (UsOnly)
FEI COMPANY[US/US]; 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793, US (AllExceptUS)
Inventors: LIU, Kun; US
Agent: SCHEINBERG, Michael, O.; P.O. Box 164140 Austin, TX 78716-4140, US
Priority Data:
10/997,41023.11.2004US
60/533,68031.12.2003US
60/536,06013.01.2004US
Title (EN) COLD CATHODE ION GAUGE
(FR) JAUGE IONIQUE A CATHODE FROIDE
Abstract: front page image
(EN) A cold cathode ion gauge is provided that is suitable for use in a high vacuum and in the presence of contaminating gases. By decreasing the discharge current and, more precisely, decreasing the charge current density received by the gauge electrodes, and using certain type of materials for the gauge electrodes, the mechanism by which insulating films are deposited on surface of the electrodes is attenuated and the life of the gauge is significantly prolonged. The gauge discharge current can be decreased by providing a large resistor in series with the anode, while the charge current density can be decreased by using an electrode with larger surface area, which can be achieved by fabricating grooves or fans on electrodes and by using low electron backscattering and low secondary emission materials, like carbon. Another concept of constant current mode is also proposed in this invention for extending the lifetime of CCIGs that are used for vacuum containing unfriendly gases.
(FR) L'invention concerne une jauge ionique à cathode froide (CCIG) appropriée pour être utilisée sous un vide très poussé et en présence de gaz de contamination. Du fait qu'on réduit le courant de décharge et, plus précisément, la densité du courant de charge reçu par des électrodes de jauge, et qu'on utilise certains types de matériaux pour les électrodes de la jauge, le mécanisme permettant de déposer des films d'isolation sur la surface des électrodes est atténué et la durée de vie de ladite jauge est prolongée de manière significative. On peut réduire le courant de décharge de la jauge par fourniture d'une grande résistance montée en série avec l'anode, tandis qu'on peut réduire la densité du courant de charge par utilisation d'une zone de surface plus grande ce qu'on exécute par production des rainures ou d'ailettes sur les électrodes, et par utilisation d'une faible rétrodiffusion électronique et de matériaux à faible émission secondaire du type carbone. Selon un autre concept, on utilise également un mode de courant constant afin d'étendre la durée de vie des CCIG qui sont utilisées pour contenir des gaz nocifs sous vide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)