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1. (WO2005065091) METHOD FOR CALIBRATING THE GEOMETRY OF A MULTI-AXIS METROLOGY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/065091    International Application No.:    PCT/US2004/038902
Publication Date: 21.07.2005 International Filing Date: 18.11.2004
Chapter 2 Demand Filed:    22.06.2005    
IPC:
G01B 11/26 (2006.01), G01C 1/00 (2006.01)
Applicants: QED TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 1040 University Avenue, Rochester, NY 14607 (US)
Inventors: MURPHY, Paul; (US).
FLEIG, Jon; (US).
FORBES, Greg; (AU)
Agent: SLIFKIN, Neal, L.; Harris Beach LLP, 99 Garnsey Road, Pittsford, NY 14534 (US)
Priority Data:
10/743,840 22.12.2003 US
Title (EN) METHOD FOR CALIBRATING THE GEOMETRY OF A MULTI-AXIS METROLOGY SYSTEM
(FR) PROCEDE PERMETTANT D'ETALONNER LA GEOMETRIE D'UN SYSTEME DE METROLOGIE A AXES MULTIPLES
Abstract: front page image
(EN)A method for calibrating and aligning a metrology system (10) comprising a machine including multi-axis part-positioning means (14) and a wavefront-measuriπg gauge (12) embedded in the machine. The gauge is used in determining spatial relationships among the translational and rotational axes, between part surface coordinates and machine coordinates, and between machine coordinates embedded gauge coordinates; in calibrating various components of the machine and the embedded gauge (12); and in aligning itself to the machine. A complete method comprises the steps of coarsely aligning the machine rotary axes with their respective translational axes and setting nominal zero points for the rotary axes; aligning the embedded gauge (12) mainframe to the machine axes; aligning tilt embedded gauge focal point onto a spindle axis; determining the spatial offsets between the rotary axes when so aligned; precisely aligning the machine rotary axes with their respective translational axes; and setting precise zero points for the rotary axes.
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant d'étalonner et d'aligner un système de métrologie comprenant une machine contenant un moyen de positionnement d'éléments à axes multiples et un outil de mesure de front d'onde qui sont incorporés dans la machine. L'outil de mesure est utilisé pour déterminer des relations spatiales entre les axes de translation et les axes de rotation, entre des coordonnées de la surface des éléments et des coordonnées de la machine, et entre des coordonnées de la machine et des coordonnées de l'outil de mesure intégré. L'outil de mesure est également utilisé pour étalonner divers composants de la machine et de l'outil de mesure intégré, ainsi que pour aligner ledit outil de mesure par rapport à la machine. Un procédé complet décrit dans cette invention comprend les étapes qui consistent à aligner grossièrement les axes de rotation de la machine avec les axes de translation respectifs et à fixer des points zéro nominaux pour les axes de rotation; à aligner le châssis principal de l'outil de mesure intégré sur les axes de la machine; à aligner le point de convergence de l'outil de mesure intégré sur un axe de broche; à déterminer les décalages spatiaux entre les axes de rotation lorsqu'ils sont alignés; à aligner précisément les axes de rotation de la machine sur les axes de translation respectifs; et à fixer des points zéro précis pour les axes de rotation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)