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1. (WO2005064382) APPARATUS FOR HOLDING OPTICAL ELEMENT, BARREL, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/064382    International Application No.:    PCT/JP2004/019265
Publication Date: 14.07.2005 International Filing Date: 22.12.2004
IPC:
G02B 7/02 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Agent: ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
Priority Data:
2003-431484 25.12.2003 JP
Title (EN) APPARATUS FOR HOLDING OPTICAL ELEMENT, BARREL, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD
(FR) APPAREIL DESTINE A SUPPORTER UN ELEMENT OPTIQUE, CYLINDRE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF
(JA) 光学素子の保持装置、鏡筒、露光装置、及びデバイスの製造方法
Abstract: front page image
(EN)A holding apparatus (38) for holding an optical element (37) at a controlled position and attitude. The optical element (37) is held at an inner ring (43) by a piezo housing (54). A piezo element (65) is isolated from the optical element (37). When the piezo element (65) elongates and contracts, a displacement section (70) is displaced in a plane perpendicular to the optical axis of the optical element while being guided by a parallel link section (71). A transmission link section (72) converts the direction of the displacement of the optical element (37) to transmit the result to a part of the inner ring (43).
(FR)L'invention concerne un appareil de support (38) destiné à supporter un élément optique (37) dans une position et une orientation régulées. L'élément optique (37) est supporté au niveau d'un anneau intérieur (43) par un boîtier piézoélectrique (54). Lorsque l'élément piézoélectrique (65) s'allonge et se contracte, une section de déplacement (70) est déplacée dans un plan perpendiculaire à l'axe optique de l'élément optique tout en étant guidée par une section de liaison parallèle (71). Une section de liaison de transmission (72) convertit le sens du déplacement de l'élément optique (37) de manière à transmettre le résultat à une pièce de l'anneau intérieur (43).
(JA)光学素子(37)を制御された位置と姿勢で保持する保持装置(38)。光学素子(37)はインナリング(43)に保持される。ピエゾハウジング(54)によって、ピエゾ素子(65)は光学素子(37)から隔離されている。ピエゾ素子(65)が伸縮したとき、変位部(70)は平行リンク部(71)に案内されて、光学素子(37)の光軸に垂直な面内で変位する。伝達リンク部(72)は光学素子(37)の変位の方向を変換して、インナリング(43)の一部に伝達する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)