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1. (WO2005064254) VERTICAL HEAT TREATMENT DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2005/064254 International Application No.: PCT/JP2004/019251
Publication Date: 14.07.2005 International Filing Date: 22.12.2004
Chapter 2 Demand Filed: 15.07.2005
IPC:
F27B 5/18 (2006.01) ,F27D 19/00 (2006.01) ,H01L 21/22 (2006.01)
Applicants: NAKAJIMA, Makoto[JP/JP]; null (UsOnly)
SAITO, Takanori[JP/JP]; null (UsOnly)
TAKIZAWA, Tsuyoshi[JP/JP]; null (UsOnly)
HONMA, Manabu[JP/JP]; null (UsOnly)
TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 1078481, JP (AllExceptUS)
Inventors: NAKAJIMA, Makoto; null
SAITO, Takanori; null
TAKIZAWA, Tsuyoshi; null
HONMA, Manabu; null
Agent: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
Priority Data:
2003-43259626.12.2003JP
Title (EN) VERTICAL HEAT TREATMENT DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT THERMIQUE VERTICAL ET PROCEDE DE COMMANDE DE CE DISPOSITIF
(JA) 縦型熱処理装置及びその制御方法
Abstract: front page image
(EN) A vertical heat treatment device includes a treatment container (5) having a treatment region (A1). The treatment region (A1) is set so as to receive to-be-treated substrates (W) held at vertical intervals. The device also has a heating furnace (8) having an electric heater (15) provided so as to surround the treatment container (5) and has an electric blower (16) for blowing a cooling gas into the heating furnace (8). In order that the temperature of the treatment region (A1) converges to the target temperature, a control section (22) supplies electricity to the heater (15) to heat the treatment region (A1) up to a predetermined temperature immediately below a target temperature. When the predetermined temperature is reached, the power supply to the heater (15) is reduced, and simultaneously, the treatment region (A1) is forcibly cooled by a cooling gas supplied by the blower (16).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de traitement thermique vertical comprenant un contenant de traitement (5) ayant une région de traitement (A1). La région de traitement (A1) est conçue pour recevoir des substrats à traiter (W) maintenus à intervalles verticaux. Le dispositif comporte également un four de chauffage (8) comportant un dispositif de chauffage électrique (15) disposé de manière à entourer le contenant de traitement (5), et il possède une soufflante électrique (16) conçue pour délivrer un gaz de refroidissement dans le four de chauffage (8). De manière que la température de la région de traitement (A1) converge vers la température cible, une section de commande (22) délivre de l'électricité au dispositif de chauffage (15) afin de chauffer la région de traitement (A1) jusqu'à une température prédéterminée immédiatement inférieure à une température cible. Lorsque la température prédéterminée est atteinte, l'alimentation en énergie du dispositif de chauffage (15) est réduite, et simultanément, la région de traitement (A1) est refroidie de manière forcée par un gaz de refroidissement délivré par la soufflante (16).
(JA)  縦型熱処理装置は、処理領域(A1)を有する処理容器(5)を含む。処理領域(A1)は上下方向に間隔をおいて保持された複数枚の被処理基板(W)を収容するように設定される。装置はまた、処理容器(5)を包囲するように配設された電気ヒータ(15)を有する加熱炉(8)と、加熱炉(8)内に冷却ガスを送風する電気送風機(16)と、を含む。制御部(22)は、処理領域(A1)を目標温度に収束させるため、ヒータ(15)に給電して目標温度の直下の所定温度まで処理領域を加熱する。所定温度になった時点で、ヒータ(15)への給電を低下させると共に、送風機(16)により供給される冷却ガスにより処理領域(A1)を強制的に冷却する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)