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1. (WO2005035821) FILM DEPOSITION APPARATUS HAVING HOLE-LIKE ROTARY FILTER PLATE FOR CAPTURING FINE PARTICLES, AND FILM DEPOSITION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/035821    International Application No.:    PCT/JP2004/011543
Publication Date: 21.04.2005 International Filing Date: 11.08.2004
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/28 (2006.01), H01L 21/203 (2006.01)
Applicants: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP/JP]; 1-8, Honcho 4-chome, Kawaguchi-shi, Saitama 3320012 (JP) (For All Designated States Except US).
YOSHITAKE, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOSHITAKE, Tsuyoshi; (JP)
Agent: NISHI, Yoshiyuki; Nishi Patent Office, Suite 211, 26-32, Nakahara 4-chome, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2350036 (JP)
Priority Data:
2003-352948 10.10.2003 JP
Title (EN) FILM DEPOSITION APPARATUS HAVING HOLE-LIKE ROTARY FILTER PLATE FOR CAPTURING FINE PARTICLES, AND FILM DEPOSITION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE DEPOT DE FILM PRESENTANT UNE PLAQUE DE FILTRATION ROTATIVE DE TYPE A TROUS POUR CAPTURER DES PARTICULES FINES, ET PROCEDE DE DEPOT DE FILM
(JA) 微粒子捕捉用の穴状回転フィルター板を有する成膜装置及び成膜方法
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] An apparatus for depositing a film by adhering scattering fine particles having the thin-film deposition component and produced by laser ablation, sputtering, arc discharge, or the like, to a substrate. Droplets can be captured easily using an easy-to-manufacture and inexpensive filter, and the captured particles are infallibly prevented from being released again not to contaminate the thin film. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A hole-like rotary filter plate produced by making a large number of through holes in a disc and rotatable at a high rotational speed about the center of the disc is provided between a target and a substrate. The filter plate is arranged such that only fine particles passing through the through holes are deposited on the substrate and fine particles of low flying velocity become droplets. The droplets are captured on the inner surface of the through holes. Preferably, the ratio of the total surface area of the through holes to the total surface area of the hole-like rotary filter plate is set at 80% or above, and the through holes have inside diameters larger than the diameter of the surface part of the filter plate.
(FR)[problèmes] Obtenir un dispositif permettant de déposer un film par adhésion de fines particules de diffusion présentant un composant de dépôt de film mince et produit par ablation au laser ; pulvérisation, décharge d'arc, etc., sur un substrat. Des gouttelettes peuvent être capturées facilement au moyen d'un filtre facile à fabriquer et bon marché, puis les particules capturées sont bloquées de manière à ne plus être libérées pour contaminer le film mince. [moyens permettant de résoudre les problèmes] Une plaque de filtration rotative de type à trous produite par réalisation d'un grand nombre de trous traversants dans un disque, laquelle plaque peut tourner à une vitesse de rotation élevée autour du centre du disque, est installée entre une cible et un substrat. La plaque de filtration est conçue de telle sorte que seules les particules fines passant à travers les trous traversant soient déposées sur le substrat et que les particules fines présentant une vitesse de déplacement faible se transforment en gouttelettes. Les gouttelettes sont capturées sur la surface interne des trous traversants. De préférence, le rapport de la superficie totale des trous traversants sur la superficie totale de la plaque de filtration est égal ou supérieur à 80 %, les trous traversants présentent un diamètre interne supérieur au diamètre de la partie superficielle de la plaque de filtration.
(JA)【課題】レーザーアブレーション法、スパッタリング法、アーク放電法等により薄膜形成成分の飛散微粒子群を発生させて該飛散微粒子群を基板に付着させる成膜装置において、ドロップレットを捕捉するためのフィルターを製作しやすい形状にして安価なものとしても捕捉が容易で、さらに、一度捕捉した微粒子を確実に再放出させないようにして薄膜の汚染を防ぐ。 【解決手段】円板にその両面まで貫通した多数の貫通穴を設けた、該円板の中心を回転軸として高速回転可能な穴状回転フィルター板を、ターゲットと基板との間に設け、該フィルター板は、該貫通穴を飛翔して通過した微粒子のみが基板に堆積し、ドロップレットとなる飛翔速度の遅い微粒子は、該貫通穴の内面に捕捉されるように配置されている。貫通穴の部分の合計の表面積/穴状回転フィルター板の全表面積が80%以上とし、貫通穴は、フィルター板の表面部分の径より内部の径を大きくするとよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)