WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2005034248) BOLOMETRIC INFRARED SENSOR HAVING TWO LAYER STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/034248    International Application No.:    PCT/KR2004/002294
Publication Date: 14.04.2005 International Filing Date: 09.09.2004
IPC:
G01J 5/20 (2006.01)
Applicants: OCAS CORP. [KR/KR]; Rm206P1-Dong, KyonggiTechnoPark, 1271-11 Sa-dong, Ansan, Gyeonggi-do 426-170 (KR) (For All Designated States Except US).
LEE, Hong-Ki [KR/KR]; (KR) (For US Only).
IM, Young-Geun [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: LEE, Hong-Ki; (KR).
IM, Young-Geun; (KR)
Agent: SEO, Cheon-Seok; Seo International Law And Patent Office, 8th Floor KAIS system Bldg, 1657-5 Seocho-dong Seocho-gu, Seoul 137-070 (KR)
Priority Data:
10-2003-0070410 09.10.2003 KR
10-2004-0061285 04.08.2004 KR
10-2004-0070714 06.09.2004 KR
Title (EN) BOLOMETRIC INFRARED SENSOR HAVING TWO LAYER STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) DETECTEUR INFRAROUGE BOLOMETRIQUE PRESENTANT UNE STRUCTURE BICOUCHE ET PROCEDE DE FABRICATION CORRESPONDANT
Abstract: front page image
(EN)The present disclosure is related to bolometric infrared sensors having a two-layer structure and methods for manufacturing the same for improving an absorption rate by a spectroscopic design for resonantly absorbing infrared, and preventing the deformation of a sensor caused by stresses due to heat. The infrared sensor including an ROIC substrate and several pixels, comprises: a bottom layer including a reflective metal layer on the ROTC substrate; a cavity for resonantly absorbing infrared ray over the bottom layer; an upper layer of a sandwich shape including an absorption-transmission layer having a cutting area in the middle thereof and a bolometer layer placed both on and under the absorption-transmission layer; and anchors positioned at the edges of the pixel for supporting the upper layer and functioning as electrodes.
(FR)Cette invention concerne des détecteurs bolométriques infrarouges présentant une structure bicouche, ainsi que des procédés de fabrication correspondants pour améliorer le taux d'absorption grâce à une conception spectroscopique permettant l'absorption des infrarouges par résonance et pour empêcher la déformation d'un détecteur provoquée par les contraintes thermiques. Le détecteur infrarouge englobant un substrat ROIC et plusieurs pixels comprend : une couche de fond contenant une couche métallique réflexive déposée sur le substrat ROIC ; une cavité permettant l'absorption par résonance du rayon infrarouge sur la couche de fond ; une couche supérieure en forme de sandwich englobant une couche de transmission et d'absorption présentant une aire de coupe ménagée au milieu, et une couche de bolomètre placée à la fois dessus et dessous la couche de transmission et d'absorption ; et des points d'ancrage placés sur les bords des pixels afin de maintenir la couche supérieure et de servir d'électrodes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Korean (KO)