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1. (WO2005033650) METHOD FOR PREPARING A SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE EXAMINATION AND A SAMPLE CARRIER AND TRANSPORT HOLDER USED THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/033650    International Application No.:    PCT/EP2004/010364
Publication Date: 14.04.2005 International Filing Date: 16.09.2004
IPC:
G01N 1/32 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS NTS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 56, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
BURKHARDT, Claus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NISCH, Wilfried [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BURKHARDT, Claus; (DE).
NISCH, Wilfried; (DE)
Agent: OTTEN, H.; Witte, Weller & Partner, Postfach 105462, 70047 Stuttgart (DE)
Priority Data:
103 44 643.5 17.09.2003 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR PRÄPARATION EINER PROBE FÜR ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE UNTERSUCHUNGEN, SOWIE DABEI VERWENDETE PROBENTRÄGER UND TRANSPORTHALTER
(EN) METHOD FOR PREPARING A SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE EXAMINATION AND A SAMPLE CARRIER AND TRANSPORT HOLDER USED THEREFOR
(FR) PROCEDE DE PREPARATION D'UN ECHANTILLON POUR EXAMENS AU MICROSCOPE ELECTRONIQUE, ET PORTE-ECHANTILLON ET SUPPORT DE TRANSPORT UTILISES A CET EFFET
Abstract: front page image
(DE)Ein Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungen, insbesondere mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) umfasst die folgenden Schritte: a) eine zu präparierende Probe an einer Probenstelle enthaltendes Substrat (10) wird in einer Vakuumkammer (32) bereitgestellt, b) auf eine Oberfläche der Probenstelle wird eine Schutzschicht (21) aufgebracht, c) die unter der Schutzschicht (21) befindliche Probe wird durch einen Ionenstrahl (19) von dem Substrat (10) abgetrennt, wobei die Schutzschicht (21) als Maske dient, und d) die abgetrennte Probe (12) wird in der Vakuumkammer (32) von dem Substrat (10) entfernt.
(EN)The invention relates to a method for preparing a sample for electronic microscope examination, in particular with a transmission electron microscope (TEM) consisting in a) placing a sample-containing substrate (10) in a vacuum chamber (32) for the preparation thereof, b) applying a protective coating (21) to the sample carrier surface, c) separating the sample covered by said protective coating (21) which is used as a mask from the substrate (10) by an ion-beam, and d) in removing said separated sample (12) from the substrate (10) towards the vacuum chamber (32).
(FR)L'invention concerne un procédé de préparation d'un échantillon pour examens au microscope électronique, en particulier au microscope électronique à transmission (TEM), comprenant les étapes suivantes : a) un substrat (10) renfermant l'échantillon à préparer sur un porte-échantillon est placé dans une chambre à vide (32), b) une couche protectrice (21) est appliquée sur une surface du porte-échantillon, c) l'échantillon se trouvant sous la couche protectrice (21) est séparé du substrat (10) par un faisceau ionique, la couche protectrice (21) servant de masque, et d) l'échantillon séparé (12) est retiré du substrat (10) dans la chambre à vide (32).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)