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1. (WO2005033377) A METHOD AND A SYSTEM FOR AUTOMATICALLY CONTROLLING A CURRENT DISTRIBUTION OF A MULTI-ANODE ARRANGEMENT DURING THE PLATING OF A METAL ON A SUBSTRATE SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/033377    International Application No.:    PCT/US2004/030761
Publication Date: 14.04.2005 International Filing Date: 17.09.2004
Chapter 2 Demand Filed:    25.11.2005    
IPC:
C25D 5/16 (2006.01), C25D 7/12 (2006.01), C25D 17/10 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01)
Applicants: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. [US/US]; One AMD Place, Mail Stop 68, P.O. Box 3453, Sunnyvale, CA 94088-3453 (US) (For All Designated States Except US).
BONKASS, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WOLLSTEIN, Dirk [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PREUSSE, Axel [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BONKASS, Matthias; (DE).
WOLLSTEIN, Dirk; (DE).
PREUSSE, Axel; (DE)
Agent: DRAKE, Paul, S.; Advanced Micro Devices, Inc., 5204 East Ben White Boulevard, Mail Stop 562, Austin, TX 78741 (US).
PFAU, Anton, K.; Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser, Maximilianstrasse 58, 80538 München (DE)
Priority Data:
103 45 376.8 30.09.2003 DE
10/861,997 04.06.2004 US
Title (EN) A METHOD AND A SYSTEM FOR AUTOMATICALLY CONTROLLING A CURRENT DISTRIBUTION OF A MULTI-ANODE ARRANGEMENT DURING THE PLATING OF A METAL ON A SUBSTRATE SURFACE
(FR) PROCEDE ET SYSTEME PERMETTANT DE CONTROLER AUTOMATIQUEMENT LA DISTRIBUTION DE COURANT D'UN AGENCEMENT A ANODES MULTIPLES AU COURS DU DEPOT ELECTROCATALYTIQUE D'UN METAL SUR LA SURFACE D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)An electroplating tool (200) is operated in combination with a controller (250), which automatically determines the individual currents for a multi-anode configuration (102A, …, 102N) of the plating tool. The calculation of the anode currents may be based on sensitivity data and measurement data as well as on a desired target profile, so that a fast response with respect to process variations may be achieved even for a plating tool including a plurality of process chambers (101A, 101B).
(FR)La présente invention concerne un outil de dépôt électrocatalytique qui fonctionne en combinaison avec un contrôleur, lequel contrôleur détermine automatiquement les courants individuels pour une configuration à anodes multiples de l'outil de dépôt électrocatalytique. Le calcul des courants d'anode peut être basé sur des données de sensibilité et de mesure de même que sur un profil cible désiré, de manière que l'on peut obtenir une réponse rapide par rapport à des variations de processus, même pour un outil de dépôt électrocatalytique comprenant une pluralité de chambres de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)