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1. (WO2005031787) RIBBON-SHAPED ION BEAM WITH MASS SEPARATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/031787    International Application No.:    PCT/US2004/030996
Publication Date: 07.04.2005 International Filing Date: 21.09.2004
IPC:
H01J 37/30 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES INC. [US/US]; 108 Cherry Hill Drive, Beverly, MA 01915 (US) (For All Designated States Except US).
BENVENISTE, Victor [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BENVENISTE, Victor; (US)
Priority Data:
10/669,186 24.09.2003 US
Title (EN) RIBBON-SHAPED ION BEAM WITH MASS SEPARATION
(FR) EXTRACTION DE FAISCEAU IONIQUE SUR FENTE AVEC SEPARATION DE MASSE
Abstract: front page image
(EN)The present invention employs a mass analyzer comprised of a pair of permanent magnets to select a desired species from multiple species within a ribbon type ion beam. These permanent magnets provide a substantially uniform magnetic field of adequate magnitude in a small region not attainable with electromagnets that applies a specific force in a desired direction. The force is applied to passing particles of a ribbon ion beam and causes paths of the particles to alter according to their respective mass. As a result, a selected species can be obtained from a beam by the force causing rejected species and/or contaminants to fail passing through the mass analyzer (e.g., by impacting the magnets themselves and/or another barrier present in the analyzer). As a result of the mass analyzer, dopant/species sources that generate multiple species can be employed instead of sources that only supply a single dopant/species.
(FR)L'invention concerne un analyseur de masse qui comprend une paire d'aimants permanents permettant de sélectionner une espèce spécifique dans une pluralité d'espèces, au moyen d'un faisceau ionique de type ruban. Ces aimants fournissent un champ magnétique sensiblement uniforme d'ampleur adéquate dans une petite zone non atteignable par des électroaimants, avec application d'une force spécifique selon une orientation voulue. Le force est appliquée aux particules de passage constituant un faisceau ionique de type ruban et elle modifie les trajets des particules en fonction de leurs masses respectives. On peut ainsi sélectionner une espèce spécifique à partir d'un faisceau grâce à cette force, et les espèces et/ou contaminants rejetés ne traversent pas l'analyseur de masse (par exemple, par impact sur les aimants proprement dits et/ou une autre barrière présente dans l'analyseur). Avec l'analyseur, on peut utiliser des sources de dopant/d'espèce produisant plusieurs espèces, au lieu de sources fournissant un dopant/une espèce unique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)