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1. (WO2005031315) VACUUM ULTRAVIOLET REFERENCING REFLECTOMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/031315    International Application No.:    PCT/US2004/030859
Publication Date: 07.04.2005 International Filing Date: 21.09.2004
IPC:
G01N 3/28 (2006.01), G01N 21/55 (2006.01)
Applicants: METROSOL, INC. [US/US]; 9208 Waterford Centre Blvd., Suite 150B, Austin, TX 78758 (US) (For All Designated States Except US).
HARRISON, Dale A. [CA/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HARRISON, Dale A.; (US)
Agent: EGAN, Richard, D.; 1101 Capital of Texas Hwy. So., Suite C-200, Austin, TX 78746 (US)
Priority Data:
10/668,644 23.09.2003 US
10/669,030 23.09.2003 US
10/668,642 23.09.2003 US
10/909,126 30.07.2004 US
Title (EN) VACUUM ULTRAVIOLET REFERENCING REFLECTOMETER
(FR) REFLECTOMETRE DE REFERENCE DANS L'ULTRAVIOLET EXTREME
Abstract: front page image
(EN)A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard.
(FR)L'invention concerne un système de spectroscopie (5000) qui fonctionne dans le spectre de l'ultraviolet extrême. Plus précisément, l'invention concerne un système qui utilise des techniques réflectométriques dans le spectre de l'ultraviolet extrême, destiné à des applications métrologiques. Pour garantir une mesure exacte et répétable, on régule l'environnement des chemins optiques (506, 508) de façon à limiter les effets d'absorption des gaz susceptibles d'être présents sur lesdits chemins. Pour tenir compte des effets d'absorption susceptibles de survenir encore, on réduit la longueur du chemin optique. Pour également prendre en compte ces effets, on peut référencer les données de réflectance par rapport à une norme correspondante.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)