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1. (WO2005030376) STRESSED THIN-FILM MEMBRANE ISLANDS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/030376    International Application No.:    PCT/US2004/031283
Publication Date: 07.04.2005 International Filing Date: 23.09.2004
IPC:
B01D 69/10 (2006.01), B01D 71/02 (2006.01), C01B 3/50 (2006.01), H01M 8/12 (2006.01)
Applicants: LILLIPUTIAN SYSTEMS, INC. [US/US]; 3-H Gill Street, Suite 200, Woburn, MA 01801 (US) (For All Designated States Except US).
SCHAEVITZ, Samuel, B. [US/US]; (US) (For US Only).
FRANZ, Aleksander [US/US]; (US) (For US Only).
BARTON, Roger, W. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SCHAEVITZ, Samuel, B.; (US).
FRANZ, Aleksander; (US).
BARTON, Roger, W.; (US)
Agent: BRODOWSKI, Michael, H.; Kirkpatrick & Lockhart Nicholson Graham LLP, 75 State Street, Boston, MA 02109-1808 US (US)
Priority Data:
60/505,547 23.09.2003 US
Title (EN) STRESSED THIN-FILM MEMBRANE ISLANDS
(FR) ÎLOTS DE MEMBRANES À COUCHE MINCE SOUMISES À UNE CONTRAINTE
Abstract: front page image
(EN)A structure including a support defining an opening, and a tensilely stressed thin-film membrane disposed to occlude the opening, the membrane contacting at least a portion of the support. The stressed membrane includes a material having a characteristic crack spacing greater than one-half of a minimum dimension of the membrane and less than ten times the minimum dimension. A structure including a support defining a opening having a minimum opening dimension, and a compressively stressed thin-film membrane disposed to occlude the opening, the membrane contacting at least a portion of the support. The stressed membrane includes a membrane material having a critical aspect ratio for buckling that is greater than a ratio of one-half of the minimum opening dimension to a thickness of the membrane, and the critical aspect ratio for buckling is less than a ratio of ten times the minimum opening dimension to the thickness of the membrane.
(FR)L'invention concerne une structure qui comprend un support définissant une ouverture, et une membrane à couche mince soumise à une contrainte de traction, disposée de manière à fermer l'ouverture, la membrane entrant en contact avec au moins une partie du support. La membrane ainsi contrainte comprend un matériau présentant un espacement caractéristique des fissures qui est supérieur à la moitié de la dimension minimale de la membrane, et inférieur à sa dimension minimale multipliée par dix. L'invention concerne également une structure qui comprend un support définissant une ouverture présentant une dimension minimale, et une membrane soumise à une contrainte compressive, disposée de manière à fermer l'ouverture, la membrane entrant en contact avec une partie au moins du support. La membrane contrainte comprend un matériau présentant un rapport largeur/longueur critique de flambage qui est supérieur au rapport entre la moitié de la dimension d'ouverture minimale et l'épaisseur de la membrane, et le rapport largeur/longueur critique de flambage est inférieur au rapport entre la dimension d'ouverture minimale multipliée par dix et l'épaisseur de la membrane.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)