(EN) A vibration sensor which can output a change in capacitance between a fixed electrode and a vibration electrode (3) opposed to the fixed electrode as a vibration signal, wherein the vibration electrode (3) is in the form of the same plate member formed with slits (3a), a vibration film (3b) in the middle which makes a vibration displacement solely by its own weight, a fixed section (3c) positioned around the periphery, and elastic support sections (3d) which join the vibration film (3b) to the fixed section (3c).
(FR) L'invention concerne un détecteur de vibration capable de produire une variation de capacité entre une électrode fixe et une électrode de vibration (3) opposée à l'électrode fixe, sous la forme d'un signal de vibration, détecteur caractérisé en ce que l'électrode de vibration (3) est réalisée sous la forme d'un même élément plat présentant des fentes (3a), un film vibrant (3b) dans la partie médiane, effectuant une déplacement de vibration uniquement par son propre poids, une section fixe (3c) positionnée sur la périphérie, et des sections supports élastiques (3d) reliant le film vibrant (3b) à la section fixe (3c).
(JA) 固定電極と固定電極に対向して配置される振動電極3との間の静電容量の変化を振動信号として出力可能な振動センサに於いて、振動電極3は、同一の板部材にスリット3aを設けて、自重のみによって振動変位する中央側の振動膜部3bと、周辺側に位置する固定部3cと、振動膜部3bと固定部3cとを連結する弾性支持部3dとが形成されている。