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1. (WO2005015283) PROJECTION OBJECTIVES INCLUDING A PLURALITY OF CURVED MIRRORS WITH LENSES AHEAD OF THE LAST BUT ONE MIRROR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/015283    International Application No.:    PCT/EP2004/007910
Publication Date: 17.02.2005 International Filing Date: 16.07.2004
IPC:
G02B 17/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MANN, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EPPLE, Alexander [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HUDYMA, Russell [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MANN, Hans-Jürgen; (DE).
EPPLE, Alexander; (DE).
HUDYMA, Russell; (US)
Priority Data:
10/639,780 12.08.2003 US
Title (EN) PROJECTION OBJECTIVES INCLUDING A PLURALITY OF CURVED MIRRORS WITH LENSES AHEAD OF THE LAST BUT ONE MIRROR
(FR) OBJECTIFS DE PROJECTION COMPORTANT UNE PLURALITE DE MIROIRS COURBES AVEC DES LENTILLES A L'AVANT DU PENULTIEME MIROIR
Abstract: front page image
(EN)According to one exemplary embodiment, a projection objective (100, 200) is provided and includes at least two non-planar (curved) mirrors (M1-M4), wherein an axial distance between a next to last non-planar mirror (M3) and a last non-planar mirror (M4), as defined along a light path, is greater than an axial distance between the last non-planar mirror and a first refracting surface of lenses following in the light path. In one exemplary embodiment, the first refracting surface is associated with a single pass type lens. The present objectives form images with numerical apertures of at least about 0.80 or higher, e.g., 0.95. Preferably, the objective does not include folding mirrors and there is no intermediate image between the two mirrors, as well as the pupil of the objective being free of obscuration.
(FR)Selon un mode de réalisation représentatif, l'invention a trait à un objectif de projection (100, 200) comportant au moins deux miroirs non plans (courbes) (M1-M4), dans lequel la distance axiale entre un pénultième miroir non plan (M3) et un dernier miroir non plan (M4), telle que définie selon une traversée optique, est supérieure à la distance axiale entre le dernier miroir non plan et la première surface de réfraction de lentilles suivante dans la traversée optique. Dans un mode de réalisation représentatif, la première surface de réfraction est associée à une lentille de type à passage unique. Les objectifs de l'invention forment des images avec des ouvertures numériques égales ou supérieurs à environ 0,80, par exemple de l'ordre de 0,95. De préférence, l'objectif ne comporte pas de miroirs de renvoi et aucune image intermédiaire n'est présente entre les deux miroirs, et la pupille de l'objectif est exempte d'opacité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)