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1. (WO2005013441) CATHODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/013441    International Application No.:    PCT/US2004/023663
Publication Date: 10.02.2005 International Filing Date: 21.07.2004
IPC:
H01R 43/00 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), H01S 3/097 (2006.01)
Applicants: CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US) (For All Designated States Except US).
STEIGER, Thomas, D. [US/US]; (US) (For US Only).
BROWN, Joshua, C. [US/US]; (US) (For US Only).
DUFFEY, Thomas, P. [US/US]; (US) (For US Only).
GILLESPIE, Walter, D. [US/US]; (US) (For US Only).
MORTON, Richard, G. [US/US]; (US) (For US Only).
DYER, Timothy, S. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: STEIGER, Thomas, D.; (US).
BROWN, Joshua, C.; (US).
DUFFEY, Thomas, P.; (US).
GILLESPIE, Walter, D.; (US).
MORTON, Richard, G.; (US).
DYER, Timothy, S.; (US)
Agent: CRAY, William; Cymer Inc., Legal Department-MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127 (US)
Priority Data:
10/629,364 29.07.2003 US
10/672,181 26.09.2003 US
Title (EN) CATHODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS
(FR) CATHODES POUR DES LASERS A DECHARGE GAZEUSE AU FLUOR
Abstract: front page image
(EN)A fluorine gas discharge laser electrode (70) for a gas discharge laser having a laser gas containing fluorine is disclosed which may comprise a copper and copper alloy cathode body having an upper curved region containing the discharge footprint (74) for the cathode comprising copper and a lower portion comprising a copper alloy.
(FR)L'invention concerne une électrode de laser à décharge gazeuse au fluor pour un laser à décharge gazeuse présentant un gaz laser contenant du fluor. Cette électrode peut comprendre un corps de cathode en cuivre et en alliage de cuivre présentant une zone incurvée supérieure contenant l'empreinte de décharge pour la cathode comprenant du cuivre et une partie inférieure contenant un alliage de cuivre, la partie de face de l'électrode, si elle est en forme d'arc s'étendant dans les parties de ligne droite, des deux côtés de la partie en forme d'arc, les parties en ligne droite se terminant en côtés droits verticaux, la limite entre le cuivre comprenant au moins une partie en forme d'arc. L'électrode peut comprendre un élément collé usiné à partir de deux pièces de matériau, le premier élément étant constitué de cuivre et le second élément étant constitué d'un alliage de cuivre, ces deux éléments étant collés ensemble avant l'usinage. L'électrode peut également comprendre une première rainure en forme de V présentant un faux-bord et une seconde rainure en forme de V présentant en faux-bord, remplies d'une matière s'érodant comparativement plus rapidement. L'invention concerne également un système d'électrodes dans lequel une électrode, par exemple, la cathode, s'incline lors de son fonctionnement, et peut comprendre au moins une électrode parmi une première et une seconde électrode de décharge gazeuse allongée usinées pour former une couronne destinée à recevoir la décharge gazeuse pour compenser l'inclinaison de l'électrode de décharge gazeuse, lors du fonctionnement du laser à décharge gazeuse au fluor.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)