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1. (WO2005013332) APPARATUS FOR PLANARIZING A PROBE CARD AND METHOD USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2005/013332    International Application No.:    PCT/US2004/024574
Publication Date: 10.02.2005 International Filing Date: 28.07.2004
IPC:
G01R 31/02 (2006.01)
Applicants: NEXTEST SYSTEMS CORPORATION [US/US]; 1901 Monterey Highway, San Jose, CA 95112 (US) (For All Designated States Except US).
FOSTER, Craig, Z. [US/US]; (US) (For US Only).
WAKEFIELD, Ray [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: FOSTER, Craig, Z.; (US).
WAKEFIELD, Ray; (US)
Agent: BACHAND, Edward, N.; Dorsey & Whitney LLP, 4 Embarcadero Center, Suite 3400, San Francisco, CA 94111-4187 (US)
Priority Data:
60/490,621 28.07.2003 US
Title (EN) APPARATUS FOR PLANARIZING A PROBE CARD AND METHOD USING SAME
(FR) APPAREIL DE PLANARISATION D'UNE CARTE SONDE ET PROCEDE CORRESPONDANT
Abstract: front page image
(EN)An apparatus (69) for use with a wafer prober (15) and a probe card (34) comprising a stiffening member (60) having a feature (68) defining a first plane. The stiffening member is mountable atop the central portion (56) of the probe card. A reference member (42) is provided to mount to the wafer prober and has an underside with a feature (44) defining a second plane. When the feature of the stiffening member defining the first plane is urged against the feature of the reference member defining a second plane the probe elements (59) of the probe card are substantially planarized relative to the wafer prober.
(FR)La présente invention concerne un appareil (69) destiné à être utilisé avec une machine de test sous pointes (15) et une carte sonde (34) comprenant un élément raidisseur (60) comportant une caractéristique (68) définissant un premier plan. L'élément raidisseur peut être installé au-dessus d'une partie centrale (56) de la carte sonde. Un élément de référence (42) est prévu pour installer la machine de test sous pointes et comporte une face inférieure comportant une caractéristique (44) définissant un deuxième plan. Lorsque la caractéristique de l'élément raidisseur définissant le premier plan est poussée contre la caractéristique de l'élément de référence définissant un deuxième plan, les éléments (59) de sonde de la carte sonde sont sensiblement planarisés par rapport à la machine de test sous pointes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)